[发明专利]提高热交换效率的装置有效
申请号: | 201310081965.3 | 申请日: | 2013-03-14 |
公开(公告)号: | CN103173827A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 任存生;张旭升;张传民;文静 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;C25D19/00;F28D7/02 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 竺路玲 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提高 热交换 效率 装置 | ||
1.一种提高热交换效率的装置,应用于电镀机台原液腔与冰机的热交换工艺中,其特征在于,于所述原液腔内部设置一热交换装置;
所述原液腔通过所述热交换装置与所述冰机进行热交换工艺;
所述热交换装置包括热交换管道,且该热交换管道的一端开口通过一连接管道与所述冰机的进液口密封连接,该热交换管道的另一端口通过另一连接管道与所述冰机的出液口密封连接。
2.如权利要求1所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述热交换管道至少包括第一热交换管道和第二热交换管道;所述第一热交换管道的一端开口与所述第二热交换管道的一端开口密封连接;所述第一热交换管道的另一端口通过一连接管道与所述冰机的进液口密封连接,所述第二热交换管道的另一端口与通过另一连接管道与所述冰机的出液口密封连接。
3.如权利要求2所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述热交换装置还包括一隔板式热交换器;所述隔板式热交换器至少包含有第一通孔和第二通孔;
所述第一热交换管道的一端开口与所述隔板式热交换器的第一通孔密封连接;所述第二热交换管道的一端开口与所述隔板式热交换器的第二通孔密封连接;
所述第一热交换管道或所述第二热交换管道的另一端口通过一连接管道与所述冰机的进液口密封连接;所述第二热交换管道或所述第一热交换管道的另一端口通过一连接管道与所述冰机的出液口密封连接。
4.如权利要求3所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述热交换管道的结构为螺旋结构。
5.如权利要求3所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述隔板式热交换器的底部固定在所述原液腔的底部上。
6.如权利要求1~5中任意一项所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述热交换管道的材质为热的良导体材质,且该热交换管道具有抗腐蚀、耐高温的特性。
7.如权利要求1~5中任意一项所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述连接管道的材质为热的不良导体材质,且该连接管道具有绝缘的特性。
8.如权利要求1~5中任意一项所述的提高热交换效率的装置,其特征在于,所述提高热交换效率的装置应用于电镀铜工艺中。
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