[发明专利]基片装卸机构和基片上下料方法

权利要求书

1.一种基片装卸机构，其特征在于，包括：

机械手臂；

连接于所述机械手臂下端的卡盘；

固定连接于所述卡盘上的伺服电机；

固定连接于所述伺服电机转轴上的转盘，所述伺服电机转轴垂直于所述转盘且位于所述转盘的圆心处，所述伺服电机转轴的旋转用于带动所述转盘旋转；

所述转盘的周边均匀设置有多个吸盘，每个所述吸盘所在平面与所述转盘所在平面之间的夹角角度相同且为钝角；

电连接于每个所述吸盘和伺服电机的控制器，所述控制器用于控制每个所述吸盘的吸气、放气以及伺服电机转轴的旋转。

2.根据权利要求1所述的基片装卸机构，其特征在于，

所述多个吸盘的数量为四个。

3.根据权利要求1所述的基片装卸机构，其特征在于，

每个所述吸盘通过支架固定连接于所述转盘。

4.根据权利要求1所述的基片装卸机构，其特征在于，

每个所述吸盘所在平面与所述转盘所在平面之间的夹角角度为170°。

5.根据权利要求1所述的基片装卸机构，其特征在于，还包括：

所述控制器位于所述机械手臂的上端，所述控制器与每个所述吸盘和伺服电机之间的电连接线缠绕于所述机械手臂上。

6.一种基片上料方法，其特征在于，包括：

机械手臂控制转盘倾斜，使所述转盘周边均匀设置的多个吸盘中的一个吸盘调整为水平；

机械手臂控制水平的吸盘运动至上料台的待片位上方；

重复一个吸盘的取片过程直到所述多个吸盘完成取片，所述一个吸盘的取片过程包括：机械手臂控制水平的吸盘垂直下降取片，机械手臂控制所述取片之后的吸盘垂直上升，伺服电机控制所述转盘旋转使所述多个吸盘中的另外一个吸盘调整为水平；

对所述多个吸盘中的一个吸盘进行校准；

重复一个吸盘的放片过程直到所述多个吸盘完成放片，所述一个吸盘的放片过程包括：机械手臂控制水平的吸盘运动至载板的一个放片位置上方，机械手臂控制水平的吸盘垂直下降放片，机械手臂控制所述放片之后的吸盘垂直上升，伺服电机控制所述转盘旋转使所述多个吸盘中的另外一个吸盘调整为水平。

7.根据权利要求6所述的基片上料方法，其特征在于，

伺服电机控制所述转盘在所述取片和放片两个过程中分别向不同的方向旋转。

8.一种基片下料方法，其特征在于，包括：

机械手臂控制转盘倾斜，使所述转盘周边均匀设置的多个吸盘中的一个吸盘调整为水平；

重复一个吸盘的取片过程直到所述多个吸盘完成取片，所述一个吸盘的取片过程包括：机械手臂控制水平的吸盘运动至载板的一个取片位置上方，机械手臂控制水平的吸盘垂直下降取片，机械手臂控制所述取片之后的吸盘垂直上升，伺服电机控制所述转盘旋转使所述多个吸盘中的另外一个吸盘调整为水平；

机械手臂控制水平的吸盘运动至下料台的待片位上方；

重复一个吸盘的放片过程直到所述多个吸盘完成放片，所述一个吸盘的放片过程包括：机械手臂控制水平的吸盘垂直下降放片，机械手臂控制所述放片之后的吸盘垂直上升，伺服电机控制所述转盘旋转使所述多个吸盘中的另外一个吸盘调整为水平。

9.根据权利要求8所述的基片下料方法，其特征在于，

伺服电机控制所述转盘在所述取片和放片两个过程中分别向不同的方向旋转。