[发明专利]用于设计在衬底上的层中的导向图形开口的方法

权利要求书

1.一种设计在衬底上的层中的导向图形开口的方法，当所述导向图形开口被经过定向自组装的自组装材料填充时，所述导向图形开口在所述导向图形开口内的规定位置处产生一组自组装域，该方法包括：

（a）规定自组装域的数目和对应位置；

（b）基于自组装域的所述规定数目和规定位置生成初始导向图形开口的数学描述，并指定所述初始导向图形开口作为当前导向图形开口；

（c）使用计算机，计算数学模型以产生所述当前导向图形开口内的自组装域的计算出的数目和计算出的高概率位置，其中所述函数表示所述自组装域将在所述当前导向图形开口内的所述规定位置处形成的相对概率；

（d）将所述数学模型的高概率位置的所述计算出的数目与自组装域的所述规定数目进行比较，并将所述高概率位置的所述计算出的位置与自组装域的所述规定位置进行比较；

（e）基于步骤（d）的所述比较，调整所述当前导向图形开口；以及

（f）重复步骤（c）到（e），直到（i）自组装域的所述计算出的数目与自组装域的所述规定数目相同且（ii）自组装域的所述高概率位置与自组装域的所述规定位置在规定范围内一致。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述数学模型通过这样的函数而被近似：该函数包括第一成分和第二成分，所述第一成分表示所述导向图形开口与在特定位置处形成的自组装域之间的相互作用，所述第二成分表示在所述特定位置处形成的自组装域与所述当前导向图形开口内的所有其他自组装域之间的相互作用。

3.如权利要求2所述的方法，包括：

将所述当前导向图形开口分为一组几何元件。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述导向图形开口由一组二维点、线段、曲线段或其组合表示。

5.如权利要求3所述的方法，其中所述第一相互作用是与所述几何元件对应的成分的和。

6.如权利要求3所述的方法，其中所述第一成分不包括与所述导向图形开口的这样的几何元件的相互作用：这些几何元件通过另一几何元件而与所述自组装域位置分隔。

7.如权利要求3所述的方法，其中所述第二成分不包括通过所述导向图形开口的几何元件而与所述自组装域位置分隔的其他自组装域的相互作用。

8.如权利要求2所述的方法，其中所述预测的自组装域：（i）被建模为与平面垂直地取向的圆柱体，以及（ii）在所述数学模型内被表示为由每个圆柱体的轴与所述平面的相交所给出的点。

9.如权利要求2所述的方法，其中所述第二相互作用是所述自组装域的所有不同对的相互作用的总和。

10.如权利要求2所述的方法，其中所述数学模型进一步通过第三成分被近似，该第三成分表示在所述导向图形开口内的被规定为将不形成自组装域的位置。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述第三成分相互作用是在（i）被规定为不形成自组装域的位置与（ii）所述导向图形开口之间的相互作用的和。