[发明专利]非远心电压成像光学系统(NTVIOS)

权利要求书

1.一种用于对受测试电子装置进行电气检查的设备，其特征在于所述设备包括：

a.检查头，其包括：电光调制器；偏置电压源，其产生施加到所述电光调制器的偏置电压模式；光源，其用于产生用于照射所述电光调制器的光脉冲；非远心透镜组合件和相机，其用于获取所述被照射的电光调制器的图像；以及

b.驱动电子器件，其经配置以将电压信号施加到所述受测试电子装置，

其中所述照射光脉冲在照射到所述电光调制器之前不通过所述非远心透镜组合件。

2.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括折叠镜。

3.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括光束分离器，其中所述光源包括一发光二极管LED或安置于所述光束分离器的同一侧上的不同波长的多个发光二极管LED。

4.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括光束分离器，其中所述光源包括一发光二极管LED或安置于所述光束分离器的相对侧上的不同波长的多个发光二极管LED。

5.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述光源包括经配置以产生一种或若干种波长的光的光照射器片。

6.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括用于将所述光源成像到所述非远心透镜组合件的入射光瞳中的折射性聚光透镜。

7.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括聚光器，其中所述聚光器包括具有椭圆形状的反射性内表面。

8.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括聚光器，其中所述聚光器包括反射性菲涅尔表面。

9.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括聚光器，其中所述聚光器包括具有非球面形状的反射性内表面。

10.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括反射性聚光器，其中所述光源安置在所述聚光器的所述内部椭圆表面的第一轨线处，且被成像到与所述非远心透镜组合件的光瞳重合的第二轨线。

11.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括安置在所述照射光脉冲的光学路径中的漫射器、变迹器或聚光透镜中的至少一者。

12.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述光源包括发光二极管LED。

13.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述光源包括在不同波长下操作的两个发光二极管LED。

14.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括用于将所述照射光脉冲引导到所述电光调制器上的光束分离器。

15.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括透镜光瞳，所述透镜光瞳经配置以使得将所述光源成像到所述透镜光瞳中。

16.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述光源包括光照射器片，所述检查设备进一步包括定位在所述光照射器片之后且经配置以防止对所述电光调制器的直接照射的遮板。

17.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括镜扫描器。

18.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括柔性光束分离器，所述柔性光束分离器的表面形状可调整以优化照射所述电光调制器的光的照射特性。

19.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述电光调制器相对于所述非远心透镜组合件和所述相机是固定的。

20.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括用于使用所述被照射的电光调制器的所述所获取图像来计算每一部位处的放大率的处理单元。

21.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于所述检查设备进一步包括用于使用线性可变差动变压器LVDT值计算放大率并校正非远心误差的处理单元。