[发明专利]相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法有效
申请号: | 201310086106.3 | 申请日: | 2013-03-18 |
公开(公告)号: | CN103207023A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 马冬梅;邵晶 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相位 复原 测试 过程 消除 系统误差 绝对 标定 方法 | ||
1.相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
步骤一:将光学放大系统和传感器放置在精密调整机构上,调整精密调整机构,测量波前信息,并将此位置设定为初始位置;
步骤二:再次调整精密调整机构至以初始位置星点图像的焦面为中心做X方向偏移△x、以初始位置星点图像的焦面为中心做Y方向偏移△y和以初始位置波前光轴为轴旋转Δθ,三个不同的位置并进行测量;
步骤三:将不同位置的测量结果使用泽尼克多项式拟合,考虑系统误差的影响,所有波前相位的测量结果由系统误差和真实波前组成;
步骤四:将不同位置的三次波前相位测量结果分别减去初始位置的波前相位测量结果,建立方程,利用剪切波前求解方法,求解泽尼克系数,获得真实的被测波前信息。
2.如权利要求1所述的相位复原测试过程中消除系统误差的绝对标定方法,其特征在于,所述步骤二中偏移和旋转量在10%-20%之间。
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