[发明专利]图案形成方法及其形成装置

权利要求书

1.一种图案形成装置，其特征在于包括：

掩模保持部，保持图案形成用的掩模；

工作台部，载置要图案形成的试样，并使该试样上下移动而接近/后退所述掩模保持部中保持的所述掩模；

膏吐出部，具备经由所述掩模在所述工作台部中载置的试样中形成膏的图案的吐出机构；以及

吐出机构驱动部，使该膏吐出部的吐出机构沿着所述掩模往返移动，

其中，所述膏吐出单元具备1对所述吐出机构，该1对吐出机构被对向安装，在该对向安装的1对吐出机构中的对图案形成作出贡献的一侧的吐出机构中，相比于在将该1对吐出机构推压到所述掩模时与所述掩模接触的位置针对图案形成时的移动方向在前方形成有凹部，该凹部形成为该凹部的和与所述掩模接触的一侧的端部相反一侧的端部向所述掩模的一侧突出并且在与所述掩模之间隔开间隙，进而所述膏吐出单元具备对所述1对吐出机构之间供给所述膏的膏供给机构。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于：对于所述膏吐出部的所述1对吐出机构的各个，至少包括所述凹部的该吐出机构的前端部的表面具有疏液性。

3.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于：所述吐出机构的前端部的凹部在与所述掩模之间形成在所述图案形成时所述吐出机构被推压到所述掩模的状态下，在通过所述吐出机构驱动部驱动时所述膏在所述凹部的内部滚压那样的空间。

4.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于还包括：

掩模吸引单元，

该掩模吸引单元在将所述膏吐出部的所述1对吐出机构推压到所述掩模时，将所述掩模吸引到所述膏吐出部的一侧。

5.根据权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于：在所述膏吐出部的所述1对吐出机构的前后，配置有1对所述掩模吸引单元。

6.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于：所述吐出机构形成为包括具有导电性的材料、和以氨基甲酸乙酯为主成分的树脂。

7.一种图案形成方法，其特征在于包括以下步骤：

使要图案形成的试样紧贴或者接近到图案形成用的掩模，

在向所述掩模推压了1对吐出机构的状态下，在该1对吐出机构之间的所述掩模上加压而供给膏的同时使该1对吐出机构相对所述掩模在一个方向上移动，

在该1对吐出机构的向一个方向的移动结束了的状态下，将所述试样从所述掩模撕下，从而将所述掩模中形成的图案转印到所述试样，而在所述试样上用膏形成图案，

其中，在对涂覆了所述膏的掩模推压所述1对吐出机构的同时使该1对吐出机构在一个方向上移动，从而在所述1对吐出机构中的向所述一个方向移动时的后方的一侧的吐出机构的推压到所述掩模的面中形成的凹部和所述掩模之间所形成的空间中存下所述供给的膏的同时将所述掩模中形成的图案转印到所述试样上而用所述膏形成图案。

8.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于：所述吐出机构的推压到所述掩模的面中形成的凹部被疏液性的膜包覆，使在被该疏液性的膜包覆的凹部和所述掩模之间所形成的空间中存下的膏在该凹部和所述掩模所形成的空间的内部中沿着包覆所述凹部的表面的疏液性的膜滚压的同时进行图案形成。

9.根据权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于：作为所述掩模，使用用金属板形成的掩模或者用金属网格形成的掩模中的某一个。

10.根据权利要求8所述的图案形成方法，其特征在于：作为所述掩模，使用在金属网格上使乳剂附着形成并用疏液性的膜包覆了表面的掩模。

11.根据权利要求8所述的图案形成方法，其特征在于：在对涂覆了所述膏的掩模推压吐出机构的同时使该吐出机构在一个方向上移动而在该吐出机构中形成的所述表面具有疏液性的凹部和所述掩模所形成的空间中存下膏的同时进行图案形成，从而向所述试样中形成的通孔的内部填充所述膏，并且在所述试样的表面用所述膏形成图案。