[发明专利]基于力平衡闭环控制的硅微机械陀螺性能提升方法及装置有效
| 申请号： | 201310087539.0 | 申请日： | 2013-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103162680A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 肖定邦;吴学忠;胡小平;陈志华;苏剑彬;侯占强;刘学;张旭 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 赵洪;谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 平衡 闭环控制 微机 陀螺 性能 提升 方法 装置 | ||
【说明书】：
技术领域
本发明涉及硅微机械陀螺领域，具体涉及一种基于力平衡闭环控制的硅微机械陀螺性能提升方法及装置。
背景技术
硅微机械陀螺一般由支撑梁和质量块组成，多采用静电驱动、电容检测的形式。硅微机械陀螺包括两个模态：驱动模态和检测模态。质量块在驱动静电力的作用下沿驱动轴方向(x轴)做简谐振动，称为驱动模态；当沿着角速度输入方向(z轴)存在角速度信号时，由哥氏力效应产生的哥氏力使得检测质量块在检测轴方向(y轴)产生振动，称为检测模态。检测模态检测电容变化量与输入角速度成正比，通过C-V转化后即可通过测量该电压信号从而获得输入角速度的信息。考虑驱动和检测模态采用同一质量块，硅微机械陀螺的系统动力学方程为：
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