[发明专利]一种钛铝合金靶材的生产方法

权利要求书

1. 一种钛铝合金靶材的生产方法，其特征在于：所述的生产方法包括依次进行的如下步骤：

（1）选择纯度大于99.5wt%的钛粉和纯度大于99.99wt%的铝粉作为原材料，钛粉和铝粉的粒度分布区间为-100目+200目，按照要求的比例放入V型混料机中，然后将混料机抽真空至10^-1Pa级，通入氩气，再抽真空，反复3次，然后，设定10~30转/分的速度混料5~10小时；

（2）将混料完毕的粉体置于冷等静压包套中，抽真空后密封，在100MPa~300MPa的压力下压制10~20分钟，然后将压制好的坯体置于真空自蔓延高温合成炉中，进行自蔓延反应，洗炉过程中，真空度要求达到10^-3Pa级，获得泡沫状的钛铝合金；

（3）将泡沫状的钛铝合金用破碎机粉碎成为-200目的合金粉体，然后将合金粉体置于冷等静压包套中，抽真空后密封，在200MPa~400MPa的压力下压制30~60分钟，获得钛铝合金坯；

（4）将钛铝合金坯置于钢包套中，进行真空脱气处理，处理完毕，将钢包套置于热等静压设备中进行热等静压烧结处理获得钛铝合金锭坯，热等静压烧结温度为1100~1250℃，烧结压力为100~200MPa，烧结时间为2~10小时；

（5）对钛铝合金锭坯进行机加工处理，得到钛铝合金靶材成品。

2. 根据权利要求1所述的钛铝合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（1）中，所述要求的比例是：钛与铝质量比为1: 0.1~10。

3. 根据权利要求1所述的钛铝合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（2）中，使所述自蔓延反应在氩气保护气氛保护下进行。

4. 根据权利要求1或3所述的钛铝合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（2）中，进行自蔓延反应时，炉内真空度为1~100Pa。

5. 根据权利要求1所述的钛铝合金靶材的生产方法，其特征在于：钛铝合金靶材的纯度大于99.5%。

6. 根据权利要求1所述的钛铝合金靶材的生产方法，其特征在于：钛铝合金靶材的晶粒尺寸小于200微米。

7. 一种如权利要求1至6任一项权利要求所述的钛铝合金靶材的生产方法所生产的钛铝合金靶材，其特征在于：钛铝合金靶材的纯度大于99.5wt%，晶粒尺寸小于200微米。