[发明专利]合成石英玻璃衬底的制造

权利要求书

1.一种合成石英玻璃衬底的制造方法，包含将起始合成石英玻璃衬底粗糙表面预抛光至镜面光洁度，然后进行精密抛光，其中使用施加到衬底的包含氧化锆的抛光浆料和聚氨酯垫或无纺垫进行所述预抛光，其中氧化锆含有四方或立方氧化锆，且在全部氧化锆中，四方或立方氧化锆的比例为70-100％。

2.根据权利要求1的方法，其中四方或立方氧化锆是稳定化的氧化锆。

3.根据权利要求1的方法，其中四方或立方氧化锆是使用碱土氧化物或稀土氧化物结构化和稳定化的氧化锆。

4.根据权利要求3的方法，其中碱土氧化物是氧化镁或氧化钙。

5.根据权利要求3的方法，其中稀土氧化物是氧化钇或氧化钪。

6.根据权利要求1的方法，其中起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面具有0.05至0.50μm的表面粗糙度RMS。

7.根据权利要求1的方法，其中合成石英玻璃衬底的镜面精加工面具有至多30nm的表面粗糙度RMS。

8.根据权利要求1的方法，其中氧化锆具有0.3至10.0μm的平均粒径。

9.根据权利要求1的方法，其中预抛光步骤中的抛光速率为10－30μm/hr。

10.根据权利要求1的方法，其中预抛光步骤使用双面抛光机。

11.根据权利要求1的方法，其包括通过将合成石英玻璃锭切片并打磨切片来提供起始衬底。

12.根据权利要求11的方法，其中用氧化铝基浆料进行打磨。

13.根据权利要求1的方法，其中用胶体颗粒进行精密抛光。

14.根据权利要求13的方法，其中所述胶体颗粒是胶态氧化锆或胶态氧化硅。

15.根据权利要求1的方法，其中在精密抛光之后进行清洁和干燥以得到最终的合成石英玻璃衬底。

16.根据权利要求1-15中任一项的方法，其中在全部氧化锆中，四方或立方氧化锆的比例为90-100％。

17.根据权利要求16的方法，其中在全部氧化锆中，四方或立方氧化锆的比例为95-100％。