[发明专利]振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具备：

基部，其在至少一部分中包含压电体；

从所述基部起延伸的驱动用振动臂以及检测用振动臂；

一对检测电极，其以预定的间隔并列配置于所述检测用振动臂，取出所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号；以及

一对调整用电极，其以预定的间隔并列配置于所述基部的所述压电体上，分别与所述一对检测电极连结，输出与所述检测用振动臂的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号，

所述一对调整用电极在划定所述预定的间隔的轮廓线上形成有缺口，所述间隔局部地扩大。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

去除了所述一对调整用电极的至少一部分。

3.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述一对调整用电极具备：

调整用电极主体，其与所述检测电极连结；以及

多个导电片，它们沿着所述调整用电极主体的长度方向排列，分别通过细导线与所述调整用电极主体连结。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的振动片，其特征在于，

所述一对调整用电极具备：

第1调整用电极，其配置在所述基部的第1平面上；以及

第2调整用电极，其配置在所述基部的与所述第1平面互为正反关系的第2平面上。

5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

所述第1调整用电极的配置区域与所述第2调整用电极的配置区域的至少一部分错开。

6.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

从所述第1调整用电极输出的电信号与从所述第2调整用电极输出的电信号彼此为相同相位。

7.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

从所述第1调整用电极输出的电信号与从所述第2调整用电极输出的电信号彼此为相反相位。

8.一种振动片，其特征在于，该振动片具备：

作为非压电体的基部；

从所述基部起延伸的第1振动臂以及第2振动臂；

基膜，其设置于所述基部、所述第1振动臂以及第2振动臂；

一对调整用压电体，其配置于所述基部，设置在所述基膜的表面上；

一对驱动用压电体，其分别配置于所述第1振动臂以及所述第2振动臂，设置在所述基膜的表面上；

一对检测用压电体，其分别配置于所述第1振动臂以及所述第2振动臂，设置在所述基膜的表面上，取出所述检测用压电体的泄漏振动的输出信号；

一对检测电极，其设置在所述一对检测用压电体各自的表面上；以及

一对布线，其设置在所述一对调整用压电体的表面上，分别与所述一对检测电极连结，

夹着所述调整用压电体的所述基膜和所述布线构成输出与所述检测用压电体的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号的调整用电极对，

所述布线在轮廓线上形成有缺口。

9.根据权利要求8所述的振动片，其特征在于，

去除了所述一对布线的至少一部分。

10.根据权利要求8或9所述的振动片，其特征在于，

所述一对布线具备：

布线主体，其与所述检测电极连结；以及

多个导电片，它们沿着所述布线主体的长度方向排列，分别通过细导线与所述布线主体连结。

11.一种陀螺仪传感器，其特征在于，

该陀螺仪传感器具备权利要求1～10中的任意一项所述的振动片。

12.一种电子设备，其特征在于，

该电子设备具备权利要求1～10中的任意一项所述的振动片。

13.一种移动体，其特征在于，

该移动体具备权利要求1～10中的任意一项所述的振动片。