[发明专利]截面加工和观察装置

权利要求书

1.一种截面加工和观察装置，所述截面加工和观察装置包括：

样本台，所述样本台被构造为在其上放置样本；

聚焦离子束镜筒，所述聚焦离子束镜筒被构造为利用聚焦离子束照射所述样本；

带电粒子检测器，所述带电粒子检测器被构造为检测由于所述聚焦离子束的照射而从所述样本发射的带电粒子；以及

控制部，所述控制部被构造为重复地执行加工和观察处理，所述加工和观察处理包括：

利用所述聚焦离子束切割所述样本的切割处理；以及

利用从通过所述切割处理形成的所述样本的截面发射的所述带电粒子获取观察图像的获取处理，

其中，所述控制部被构造为，将所述观察图像划分为多个区域，并且

其中，所述控制部被构造为，当在利用一个加工和观察处理获取的所述样本的一个截面的第一观察图像的多个区域中的一个区域中的图像与利用另一加工和观察处理获取的所述样本的另一截面的第二观察图像的多个区域中与所述一个区域对应的区域中的图像之间出现了变化时，结束处理。

2.根据权利要求1所述的截面加工和观察装置，

其中，所述控制部被构造为，当在所述第一观察图像的两个或更多区域中的图像与所述第二观察图像的对应于所述两个或更多区域的观察图像的区域中的图像之间出现了变化时，不结束处理。

3.根据权利要求1所述的截面加工和观察装置，

其中，所述控制部被构造为倾斜所述样本台以利用所述聚焦离子束执行所述切割处理和所述获取处理。

4.根据权利要求2所述的截面加工和观察装置，

其中，所述控制部被构造为倾斜所述样本台以利用所述聚焦离子束执行所述切割处理和所述获取处理。

5.根据权利要求1所述的截面加工和观察装置，所述截面加工和观察装置进一步包括：

电子束镜筒，所述电子束镜筒用于利用电子束照射所述截面，

其中，所述观察图像包括利用由于所述电子束的照射而生成的背向散射电子和二次电子中的一方获取的观察图像。

6.根据权利要求2所述的截面加工和观察装置，所述截面加工和观察装置进一步包括：

电子束镜筒，所述电子束镜筒被构造为利用电子束照射所述截面，

其中，所述观察图像包括利用由于所述电子束的照射而生成的背向散射电子和二次电子中的一方获取的观察图像。