[发明专利]单晶生长炉的加热体结构

权利要求书

1.一种单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：包括主加热装置和副加热装置，所述的主加热装置由若干U型主加热棒和主电极汇流排组成的鸟笼式结构，每根U型主加热棒由钨棒弯曲形成，U型主加热棒的上端与主电极汇流排连接；所述的副加热装置套设在主加热装置的下部外侧，副加热装置包括由上向下设置的2-8圈副加热棒，副加热棒的端部通过加热棒夹紧块连接在副电极汇流排上，副电极汇流排上设有与副加热电极相连的电极座连接孔。

2.根据权利要求1所述的单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：副电极汇流排设有两组，对称设置。

3.根据权利要求1所述的单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：所述的副加热棒为弧形棒结构。

4.根据权利要求1所述的单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：所述的副加热棒为波浪形棒结构。

5.根据权利要求1所述的单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：所述的电极座连接孔设在副电极汇流排的上端或下端。

6.根据权利要求1所述的单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：所述的副加热棒设有4圈。