[发明专利]振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体

说明书

本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。

技术领域

本发明涉及振动片、利用了该振动片的陀螺仪传感器、安装了该振动片的电子设备和移动体等。

背景技术

陀螺仪传感器中使用的振动片已经是一般公知的。例如在专利文献1和专利文献2所记载的振动片中，从基部起在第1方向上延伸出1对第1振动臂，从基部起在与第1方向相反的第2方向上延伸出1对第2振动臂。例如利用1对第1振动臂来激励出振动。此时，当向振动片施加角速度运动时，由于科里奥利力的作用，使得第1振动臂的振动方向发生变化。与科里奥利力对应地在特定方向上产生新的力分量。该力分量引起第2振动臂的运动。这样，基于第2振动臂的运动，检测与角速度对应的力分量。

【专利文献1】日本特开2011-75415号公报

【专利文献2】日本特开2004-251663号公报

基部被贯通基部的重心（振动静止点）的1对悬臂支撑。当施加科里奥利力时，第2振动臂绕着基部的重心（振动静止点）振动。然而，如果只是通过1对悬臂支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。此外，驱动系统的布线和检测系统的布线混合地安装在1对悬臂上，在两种布线之间会产生较大的静电耦合。由此，产生不必要的信号，振动片的噪声特性和温度特性劣化。

发明内容

为了解决上述课题中的至少一个课题，本发明可以作为下述方式或应用例来实现。

（1）本发明的一个方式涉及一种振动片，该振动片具有：基部；第1振动臂，其从所述基部起沿着第1方向延伸；第2振动臂，其从所述基部起沿着与所述第1方向相反的第2方向延伸；固定部，其保持所述基部；第1悬臂，其从所述固定部起延伸，与所述基部的第1连接部连接；以及1对第2悬臂，它们从所述固定部起，以夹着所述第1悬臂的方式延伸，并与所述基部的第2连接部连接，将所述第1振动臂和所述第2振动臂中的一方作为驱动用振动臂，将另一方作为检测用振动臂。另外，这里所说的“夹着”，还包含如下结构：在物体与物体之间配置有与它们在空间上分离的物体。可以将第1悬臂配置在1对第2悬臂之间的空间中。以下也是同样。

这样的振动片可以用于角速度的检测。在角速度的检测中，通过驱动用振动臂来激励振动。此时，当向振动片施加角速度运动时，由于科里奥利力的作用，驱动用振动臂的振动方向发生变化。与科里奥利力对应地在特定方向产生新的力分量。该力分量引起检测用振动臂的运动。这样，基于检测用振动臂的运动，检测与角速度对应的力分量。根据本发明人的验证，在该振动片中基部由至少3个悬臂支撑，因此，与利用通过贯通基部重心的1对悬臂来支撑基部的情况相比，检测用振动臂的运动幅度增大。因此，能够提高检测精度。

（2）可以是，所述固定部比所述第1振动臂至少更靠所述第1方向侧，所述第2连接部比所述第1连接部更靠所述第2方向侧。根据该结构，能够更牢固地对基部进行单侧支撑。

（3）可以是，振动片具有：第1布线，其配置在所述第1悬臂上，与设置在所述第1振动臂上的第1电极连接；以及第2布线，其配置在所述第2悬臂上，与设置在所述第2振动臂上的第2电极连接。