[发明专利]晶片的辅助取片机构、取片系统及取片方法有效

专利信息
申请号: 201310095195.8 申请日: 2013-03-22
公开(公告)号: CN104058257B 公开(公告)日: 2017-07-04
发明(设计)人: 李萌;张金斌 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: B65G59/06 分类号: B65G59/06;B65G49/07
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 代理人: 申健
地址: 100026 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 晶片 辅助 机构 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种晶片的辅助取片机构,其特征在于:包括滑动板和驱动器,所述驱动器用于驱动所述滑动板前后移动,所述滑动板的前端设有滚轴;

当晶片的主取片机构托起晶片底部的前端,从装有所述晶片的料盒前侧取出所述晶片时,所述滑动板在所述驱动器的驱动下向前移动至所述料盒后侧的下方,所述滚轴用于托住所述晶片底部的后端,所述料盒底部的前端和所述料盒底部的后端均开设有U型缺口。

2.根据权利要求1所述的辅助取片机构,其特征在于:当所述料盒中的晶片取尽时,所述滑动板在所述驱动器的驱动下向后移出所述料盒的下方。

3.根据权利要求1所述的辅助取片机构,其特征在于:还包括支撑所述滑动板的支撑板,所述支撑板上设有导轨,所述滑动板可在所述驱动器的驱动下沿所述导轨前后移动。

4.根据权利要求1所述的辅助取片机构,其特征在于:所述滚轴为表面包覆聚氨酯的轴承。

5.根据权利要求1所述的辅助取片机构,其特征在于:所述驱动器为气缸,所述气缸中的顶杆通过浮动接头与所述滑动板连接。

6.一种晶片的取片系统,包括升降台和主取片机构;

所述升降台用于放置装有若干个晶片的料盒;

其特征在于:所述取片系统还包括如权利要求1-5任一项所述的辅助取片机构。

7.根据权利要求6所述的取片系统,其特征在于:所述主取片机构包括主驱动器、滑块和驱动轮,所述主驱动器用于驱动所述滑块前后移动,所述滑块上设有传送带,所述传送带通过所述驱动轮进行驱动。

8.一种基于权利要求7所述的取片系统的取片方法,其特征在于,包括:

步骤一、所述主取片机构的主驱动器驱动所述滑块向后移动至所述料盒中最低位的晶片前端的下方,同时,所述辅助取片机构的驱动器驱动所述滑动板向前移动至所述料盒中最低位的晶片后端的下方;

步骤二、所述升降台带动所述料盒下降一定高度,使所述主取片机构的传送带托住所述最低位的晶片底部的前端,同时所述辅助取片机构的滚轴托住所述最低位的晶片底部的后端;

步骤三、所述主取片机构的驱动轮驱动所述传送带将所述最低位的晶片从所述料盒中取出;

重复上述步骤二至步骤三,直至取尽所述料盒中晶片。

9.根据权利要求8所述的取片方法,其特征在于,所述料盒中的晶片取尽之后,还包括:

步骤四、所述主取片机构的主驱动器驱动所述滑块向前移出所述料盒的下方,同时,所述辅助取片机构的驱动器驱动所述滑动板向后移出所述料盒的下方;

步骤五、所述升降台带动所述料盒下降。

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