[发明专利]利用基于纳米压电半导体材料的纳米发电机进行气体探测的方法

权利要求书

1.一种利用基于纳米压电半导体材料的纳米发电机进行气体探测的方法，该方法包括：

将所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机放置于被测气体环境中，所述被测气体吸附在所述纳米压电半导体材料表面；

向所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机施加应力；

测量被施加应力后的所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机的压电输出特性；以及

利用所述压电输出特性对被测气体进行探测；

根据被测气体的浓度与所述压电输出特性之间的关系来探测被测气体的浓度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述压电输出特性通过低噪声预放大器进行检测。

3.根据权利要求1所述的方法，该方法还包括：

获得所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机的电流-电压输出特性；以及

利用所述电流-电压输出特性，获得所述纳米压电半导体材料的电阻。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述被测气体选自氧气、硫化氢、水汽和干空气。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述向所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机施加应力包括：

向所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机施加应力以使所述纳米发电机的电极之间的距离减小或增大。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述基于纳米压电半导体材料的纳米发电机在振动下产生形变。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述纳米压电半导体材料为ZnO、GaN、CdS、InN、InGaN、CdTe、CdSe或ZnSnO₃。