[发明专利]一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统

权利要求书

1.一种用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，其特征在于包括：输入接口模块、模拟信号调理电路模块、模数转换模块、参考电压模块、精密电源模块、光电隔离模块、单片机控制模块、串并转换模块、数据存储模块和输出接口模块；输入接口模块的输出端与模拟信号调理电路的输入端相连，模拟信号调理模块，参考电压模块和精密电源模块的输出端均与模数转换模块相连，模数转换器的输出端连光电隔离模块，光电隔离模块的输出端与单片机控制模块相连，单片机控制模块与串并转换模块相连，串并转换模块的输出端连数据存储模块，数据存储模块的输出端与数据输出接口模块相连。

2.根据权利要求1所述的用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，其特征在于：所述的模拟信号调理模块包括依次串联的信号放大电路、单端转差分电路、低通滤波电路和工频干扰滤波电路。

3.根据权利要求1所述的用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，其特征在于：所述精密电源模块包括两级三端稳压电路、低压差线性稳压电路。

4.根据权利要求1所述的用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，其特征在于：所述的模数转换模块选用TI公司的∑－Δ型模数转换器ADS1256，它具有高达23bits无噪声精度，低功耗，正常模式下功耗为38mW，备用模式下功耗为0.4mW，可配置为8路单级输入或者4路差动输入。

5.根据权利要求1所述的用于光刻机检焦系统的高精度多通道数据采集系统，其特征在于：所述的单片机控制模块选用AT89S51作为整个系统的核心控制芯片，通过光电隔离模块与模数转换模块通信，通过向模数转换模块发送命令字和读取模数转换模块的状态控制信号采集的开始停止，选择采集通道，同时将转换好的数据暂存在单片机中，AT89S51读取串并转换模块和数据存储模块的状态信息，并向串并转换模块和数据存储模块发送命令字控制串并转换模块读取暂存在单片机中的串行数据并将其转换成并行数据，继而输入到数据存储模块进行存储，从而实现对采集得到的串行数据的串并转换及数据存储。