[发明专利]具有微流道结构的单腔双电极放电腔

权利要求书

1.一种单腔双电极放电腔，包括腔体(1)和位于腔体(1)内的风机和两套主放电电极，其特征在于：

所述腔体(1)包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的形状，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通；

所述两套主放电电极分别位于左右两室，所述每套主放电电极都包括一个阳极(6)和一个阴极(3)，所述阳极(6)与所述阴极(3)的放电表面之间形成一个放电区(2)，且所述放电区(2)分别位于所述左右两室的上部；

所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流，在所述主气流的流道的两侧存在凹陷区；

在所述主气流的流道两侧设置有微流道，所述微流道具有用于气体流入的入口和用于气体流出的出口，所述入口位于所述主气流的下游，所述出口朝向所述凹陷区。

2.如权利要求1所述的单腔双电极放电腔，其特征在于：

所述阴极(3)安装在一个绝缘板(5)上，所述绝缘板(5)吊装在所述左右两室的顶端；

所述阳极(6)固定在一个阳极基座(14)上，所述阳极基座固定在所述腔体(1)上，其位置使得所述阳极(6)与所述阴极(3)平行且正对。

3.如权利要求1所述的单腔双电极放电腔，其特征在于，在所述两套放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流板上，并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。

4.如权利要求1所述的单腔双电极放电腔，其特征在于，所述放电腔内还包括有一个预电离装置，其支撑于所述导流板与所述放电电极之间，所述微流道的出口朝向该预电离装置。

5.如权利要求4所述的用于单腔双电极放电腔，其特征在于，在所述阴极和/或阳极的位于所述主气流的下侧一侧的导流板上设置所述微流道。

6.如权利要求1所述的单腔双电极放电腔，其特征在于，所述微流道是一个槽群，所述槽群是指多个平行排列的凹槽。

7.如权利要求6所述的单腔双电极放电腔，其特征在于，所述凹槽之间具有隔板，所述预电离装置支撑于所述隔板上。

8.如权利要求6所述的单腔双电极放电腔，其特征在于，所述凹槽的宽度不低于10mm，深度不小于3mm，相邻凹槽间的距离不大于2mm。