[发明专利]用于在视觉上检测静电放电事件的方法和装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路，并且更特定地，涉及在视觉上检测集成电路和其他结构中的静电放电事件。

背景技术

静电放电（ESD）是由于电荷的累积而在具有不同电势的两个物体之间流动的突然且瞬时的电流。累积电荷的量可以基于物体相对于另一物体的所存储的电容而变化。所有材料是ESD的源。例如，人体可以存储高达25,000伏的电荷。

在半导体器件的制造期间，ESD是特别关注的。ESD损坏可以由于多种原因而发生，这些原因最常见地包括通过人接触。ESD损坏的其他源包括合成材料（例如，塑料、泡沫聚苯乙烯等）设置在电子设备上或附近以及电子设备附近的空气的快速移动（例如，由于使用压缩空气将灰尘吹离印制电路板、安置在电子设备上吹风的循环风扇、或者使用与空气处理系统接近的电子器件）。在所有这些情形中，静电荷的累积可以在没有检测的情况下发生。使事情更糟的是，ESD事件的发生不需要物体之间的直接接触。

存在多个步骤供半导体制造商采取以防止ESD损坏。例如，半导体制造商维持包括法拉第笼、腕/脚带、抗静电垫、导电地板材料、离子风机和/或湿度控制器的受控环境。此外，半导体器件设计可以并入有内建ESD保护。然而，这种手段可能不会消除ESD损坏和所导致的制造产量损失。

当半导体器件失效时，可以执行调查以识别ESD损坏是否是失效的原因。通常，这种调查不能够识别失效的源，替代地，可以执行耗时的失效分析，以拆毁该器件并针对其源检查任何物理损坏的线索。然而，确定物理损坏由ESD导致可能仍不会识别ESD事件何时或如何发生。例如，可能难以确定ESD损坏是发生在制造期间还是发生在将半导体器件交付至客户之后。

相应地，本领域中存在克服上述缺陷和限制的需要。

发明内容

在本发明的一方面，提供了一种方法，包括：提供包括ESD指示器的结构，所述ESD指示器包括电场敏感材料，所述电场敏感材料被配置为经受响应于电场的特定颜色改变。所述方法还包括：经由所述ESD指示器的特定颜色改变来在视觉上确定所述结构的ESD事件暴露。

在本发明的另一方面，提供了一种结构，包括物体和静电放电（ESD）指示器，所述静电放电ESD指示器包括电场敏感材料，所述电场敏感材料被配置为改变为分别与多个预定电场强度范围相对应的多个预定颜色之一。

在本发明的另一方面，存在一种包括计算机可使用存储介质的计算机程序产品，在该介质中存储有计算机可读程序。所述计算机可读程序在计算设备上执行时可操作用于使所述计算设备对包括静电放电（ESD）指示器的物体的图像进行编码。所述计算机可读程序还可操作用于使所述计算设备确定所述ESD指示器在所述图像的区域中的颜色。所述计算机可读程序还可操作用于使所述计算设备将所确定的所述ESD指示器的颜色与颜色参考相关联。所述计算机可读程序还可操作用于使所述计算设备将所述颜色参考与多个预定ESD严重性等级中的一个ESD严重性等级相关联。所述计算机可读程序还可操作用于使所述计算设备记录所述物体的将物体的标识符与所述多个预定ESD严重性等级中的所述一个ESD严重性等级相关联的ESD历史。

附图说明

参照所标注的多个附图，作为本发明的示例性实施例的非限制性示例，在以下特定实施方式中描述本发明。

图1示出了根据本发明的方面的示意性环境；

图2示出了根据本发明的方面的示意性半导体器件；

图3示出了根据本发明的方面的示意性系统；

图4A和4B示出了根据本发明的方面的示例性数据结构；以及

图5示出了根据本发明的方面的示例性过程的流程图。

特定实施方式

本发明涉及集成电路，并且更特定地，涉及在视觉上检测物体和结构（例如，集成电路）中的静电放电事件。本发明的实施例通过确定物体中包括的指示器材料的特定颜色改变来量化物体的高电场暴露。此外，实施例使指示器材料中导致的颜色改变与对应于具有不同特性（例如，电压量值）的ESD事件的参考颜色相关联。此外，实施例基于指示器材料中导致的颜色改变来描述各物体的电场暴露历史。