[发明专利]一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法及其装置

权利要求书

1.一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法，该方法采用功率大于1KW的激光束连续作用于匀速运动的线状靶材底部，使靶材熔化瞬间产生连续的液滴。

2.根据权利要求1所述的激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法，其特征在于，所述靶材的直径小于等于50um。

3.根据权利要求1或2所述的激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法，其特征在于，所述靶材为锡丝。

4.根据权利要求1或2所述的激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生方法，其特征在于，所述锡液滴的直径为30um～50um。

5.一种激光等离子体极紫外光源的液滴靶产生装置，该装置包括电机、聚焦透镜、真空室和入射光窗；真空室的侧壁上设有入射光窗；工作时，电机用于控制靶材作匀速运动，聚焦透镜位于入射光窗与靶材之间，靶材底部与聚焦透镜的光轴位于同一直线上。

6.根据权利要求5所述的液滴靶产生装置，其特征在于，该装置还包括与真空室连接的真空泵系统。

7.根据权利要求5所述的液滴靶产生装置，其特征在于，所述真空室的侧壁上还设有与入射光窗相对的出射光窗。

8.根据权利要求5所述的液滴靶产生装置，其特征在于，所述靶材的直径小于等于50um。

9.根据权利要求5所述的液滴靶产生装置，其特征在于，所述靶材为锡丝。