[发明专利]一种匀胶铬版制造工艺有效
申请号: | 201310104872.8 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN103235481A | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
发明(设计)人: | 石孟阳;熊波;谢庆丰;庄奎乾 | 申请(专利权)人: | 深圳市科利德光电材料股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/60 | 分类号: | G03F1/60;G03F1/68 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 潘中毅 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 匀胶铬版 制造 工艺 | ||
1.一种匀胶铬版制造工艺,包括以下步骤:
镀膜,提供玻璃板并在玻璃板上生成氮化铬/氮氧化铬膜层形成铬膜基版;
切割,根据所要形成的匀胶铬版的尺寸,切割铬膜基版形成多个小尺寸的铬膜基版;
清洗,清洁切割后的小尺寸的铬膜基版,去除表面的灰尘、污渍;
涂胶,在清洗后的小尺寸的铬膜基版的氮化铬/氮氧化铬膜层上涂覆光刻胶。
2.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述清洗步骤包括:
无尘布擦洗,将切割后的小尺寸的铬膜基版放入浓度为3%~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液,擦洗表面10分钟;
倒角磨边处理,将擦洗后的小尺寸的铬膜基版的边角打磨钝化、边缘打磨平直;
浸泡,将倒角磨边处理之后的小尺寸的铬膜基版放入浓度为3~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液中,浸泡10分钟;
超声波清洗;
清洗机清洗,在清洗机中放入浓度为3~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液对小尺寸的铬膜基版进行清洗。
3.根据权利要求2所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述清洗步骤还包括:
脱模,在清洗机清洗之后,将小尺寸的铬膜基版置于浓度小于1%的NaOH溶液中10分钟进行脱膜;
再次清洗机清洗,在脱模之后,将小尺寸的铬膜基版再次置于清洗机中,放入浓度为3~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液对小尺寸的铬膜基版进行清洗。
4.根据权利要求2所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述清洗步骤还包括:在进行无尘布擦洗之前,用无尘气枪吹静小尺寸的铬膜基版表面。
5.根据权利要求2所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:在无尘布擦洗后,倒角磨边之前,还包括用流动DI水彻底冲洗不小于10分钟,以及吹干或烘干留存在小尺寸的铬膜基版表面的DI水。
6.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述涂胶为涂胶机自动滴胶,涂胶机的转速为1200~1500转/分。
7.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述光刻胶通过天那水进行稀释,光刻胶与天那水的质量比值为1.78±5%。
8.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:在所述镀膜步骤中,通过蒸镀、溅镀在玻璃板上生成氮化铬/氮氧化铬膜层。
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