[发明专利]一种匀胶铬版制造工艺有效

专利信息
申请号: 201310104872.8 申请日: 2013-03-28
公开(公告)号: CN103235481A 公开(公告)日: 2013-08-07
发明(设计)人: 石孟阳;熊波;谢庆丰;庄奎乾 申请(专利权)人: 深圳市科利德光电材料股份有限公司
主分类号: G03F1/60 分类号: G03F1/60;G03F1/68
代理公司: 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人: 潘中毅
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 匀胶铬版 制造 工艺
【权利要求书】:

1.一种匀胶铬版制造工艺,包括以下步骤:

镀膜,提供玻璃板并在玻璃板上生成氮化铬/氮氧化铬膜层形成铬膜基版;

切割,根据所要形成的匀胶铬版的尺寸,切割铬膜基版形成多个小尺寸的铬膜基版;

清洗,清洁切割后的小尺寸的铬膜基版,去除表面的灰尘、污渍;

涂胶,在清洗后的小尺寸的铬膜基版的氮化铬/氮氧化铬膜层上涂覆光刻胶。

2.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述清洗步骤包括:

无尘布擦洗,将切割后的小尺寸的铬膜基版放入浓度为3%~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液,擦洗表面10分钟;

倒角磨边处理,将擦洗后的小尺寸的铬膜基版的边角打磨钝化、边缘打磨平直;

浸泡,将倒角磨边处理之后的小尺寸的铬膜基版放入浓度为3~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液中,浸泡10分钟;

超声波清洗;

清洗机清洗,在清洗机中放入浓度为3~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液对小尺寸的铬膜基版进行清洗。

3.根据权利要求2所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述清洗步骤还包括:

脱模,在清洗机清洗之后,将小尺寸的铬膜基版置于浓度小于1%的NaOH溶液中10分钟进行脱膜;

再次清洗机清洗,在脱模之后,将小尺寸的铬膜基版再次置于清洗机中,放入浓度为3~5%、温度为35~40℃的碱性清洗溶液对小尺寸的铬膜基版进行清洗。

4.根据权利要求2所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述清洗步骤还包括:在进行无尘布擦洗之前,用无尘气枪吹静小尺寸的铬膜基版表面。

5.根据权利要求2所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:在无尘布擦洗后,倒角磨边之前,还包括用流动DI水彻底冲洗不小于10分钟,以及吹干或烘干留存在小尺寸的铬膜基版表面的DI水。

6.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述涂胶为涂胶机自动滴胶,涂胶机的转速为1200~1500转/分。

7.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:所述光刻胶通过天那水进行稀释,光刻胶与天那水的质量比值为1.78±5%。

8.根据权利要求1所述的匀胶铬版制造工艺,其特征在于:在所述镀膜步骤中,通过蒸镀、溅镀在玻璃板上生成氮化铬/氮氧化铬膜层。

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