[发明专利]一种连熔法无芯杆拉制石英玻璃棒的方法

说明书

技术领域

 本发明涉及一种拉制石英玻璃棒的方法，特别涉及一种连熔法无芯杆拉制石英玻璃棒的方法。

背景技术

目前国内连熔法拉制石英玻璃棒的方法有两种：一种是将芯杆下端的成形器加工成锥形，即可拉制石英玻璃棒，另一种是在拉制石英玻璃管时，如需拉制石英玻璃棒，首先关闭保护气体，再在芯杆通气孔上端加装一台真空泵，将下行的石英玻璃液形成上吸状态，即可拉制石英玻璃棒。上述两种技术的缺陷在于其连熔炉都必须要有芯杆和成型器，拉出的石英玻璃棒规格小，特别是石英玻璃棒中间会有黑芯，无法达到半导体及集成电路制造业对其质量的要求。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种方法合理，能拉制中间无黑芯的石英玻璃棒的方法。

本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的，本发明是一种连熔法无芯杆拉制石英玻璃棒的方法，其特点是：包括连熔炉，连熔炉设有炉体，炉体内设有钨钼坩埚，钨钼坩埚底部设有料台,料台上设有出料口；炉体上端口上设有连熔炉盖，所述的连熔炉盖包括底盖和上盖，底盖的中部设有安装孔，安装孔内设有连接筒，连接筒的上端与上盖固定连接，连接筒的下端内壁上设有卡住钨钼坩埚的凸台，在底盖与连接筒之间设有密封机构，在底盖与上盖之间设有上盖升降调节机构，上盖的上方设有顶盖，顶盖通过紧固件与上盖固定连接，顶盖上设有加料孔；钨钼坩埚上升，成型的石英玻璃棒的直径变大，钨钼坩埚下降，成型的石英玻璃棒的直径变小；在连熔炉出料口向下2400-2600mm处设有拉棒机。

本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述的密封机构包括设在底盖与连接筒之间密封圈，密封圈的上部设有压板，压板通过连接件与底盖固定连接。

本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，上盖升降调节机构包括穿过上盖的调节螺栓，调节螺栓的下端固定在底盖上，上盖下方的调节螺栓上设有紧固螺母。

本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，所述料台的上表面由钨钼坩埚内壁至出料口倾斜向下设置。

本发明连熔炉内没有芯杆和成型器，熔融的石英玻璃液在无缝隙状态下直接从料台的出料口出来，使之去除了中间黑芯，同时通过将连熔炉盖变成分体式的，从而使钨钼坩埚实现升降调节，通过钨钼坩埚的升降和拉棒机的速度可以调整石英玻璃棒的直径。

与现有技术相比，其方法合理，可根据拉制方法调节石英玻璃棒的规格，由现有的2至30mm扩大到2至60mm，同时无芯杆拉制解决了石英玻璃棒的黑芯问题。

附图说明

图1是本发明的一种结构示意图。

具体实施方式

以下参照附图，进一步描述本发明的具体技术方案，以便于本领域的技术人员进一步地理解本发明，而不构成对其权利的限制。

参照图1，一种连熔法无芯杆拉制石英玻璃棒的方法，包括连熔炉，连熔炉设有炉体1，炉体1内设有钨钼坩埚3，钨钼坩埚3底部设有料台2,料台2上设有出料口，所述料台2的上表面由钨钼坩埚3内壁至出料口倾斜向下设置，这样可以有效的控制石英玻璃棒的下行速度和流量，从而调节石英玻璃棒的直径。

炉体1上端口上设有连熔炉盖，连熔炉盖包括底盖5和上盖7，上盖7的上方设有顶盖10，上盖7与顶盖10之间设有硅胶密封圈，顶盖10通过紧固件与上盖7固定连接，顶盖10上设有加料孔9。所述底盖5的中部设有安装孔，安装孔内设有连接筒4，连接筒4的上端与上盖7固定连接，连接筒4的下端内壁上设有卡住钨钼坩埚3的凸台，在底盖5与连接筒4之间设有密封机构，所述的密封机构包括设在底盖5与连接筒4之间密封圈11，密封圈11的上部设有压板6，压板6通过连接件12与底盖5固定连接。在底盖5与上盖7之间设有上盖升降调节机构，上盖升降调节机构包括穿过上盖7的调节螺栓13，调节螺栓13的下端固定在底盖5上，上盖7下方的调节螺栓13上设有紧固螺母8。通过调节上盖升降调节机构的升降，可以同时带动钨钼坩埚3升降，钨钼坩埚3上升其可以扩大石英玻璃棒的直径，钨钼坩埚3下降可以缩小石英玻璃棒的直径。在连熔炉出料口向下2400-2600mm处设有拉棒机。

在拉制的过程中，需要延长连熔炉出料口至拉棒机的距离，由2000mm延长至2500mm左右，根据石英玻璃棒的直径大小调整拉棒速度，直径越大，速度越慢。在拉制10mm以下直径的石英玻璃棒，拉棒机的速度为每分钟拉制30m长，拉制60mm直径的石英玻璃棒，拉棒机的速度为每分钟拉制5cm长。