[发明专利]薄膜太阳电池的槽加工工具、方法及槽加工装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳电池的槽加工工具，其特征在于由棒状的本体与形成在本体前端的圆锥梯状的刃尖区域构成；

刃尖区域具有底面与从底面朝向本体延伸的侧面；

借由底面与侧面形成的角部构成刃尖；

从底面朝向本体变细地形成。

2.根据权利要求1的薄膜太阳电池的槽加工工具，其特征在于其中底面的宽度为30μm以上、100μm以下。

3.根据权利要求1的薄膜太阳电池的槽加工工具，其特征在于其中借由底面与侧面形成的刃尖的角度为65°以上、85°未满。

4.根据权利要求1的薄膜太阳电池的槽加工工具，其特征在于其中该槽加工工具是以超硬合金或金刚石形成。

5.一种薄膜太阳电池的槽加工方法，是沿着薄膜太阳电池的刻划预定线，以槽加工工具的刃尖按压并同时使该薄膜太阳电池与槽加工工具相对移动，在该薄膜太阳电池的薄膜形成刻划线，其特征在于：将权利要求1至4中任一权利要求的薄膜太阳电池的槽加工工具的底面按压于该薄膜太阳电池的薄膜的表面以进行该槽加工。

6.一种槽加工装置，其特征在于具备权利要求1至4中任一权利要求的薄膜太阳电池的槽加工工具、用以载置薄膜太阳电池的平台、及在将该槽加工工具的底面按压于该太阳电池的薄膜的表面的状态下进行槽加工的刻划头。