[发明专利]半导体侧泵激光器的冷却方法和冷却装置有效
申请号: | 201310106459.5 | 申请日: | 2013-03-29 |
公开(公告)号: | CN103219637A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 赵伟芳;林学春;侯玮;于海娟;伊肖静;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S3/042 | 分类号: | H01S3/042;H01S5/024 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 激光器 冷却 方法 装置 | ||
1.一种半导体侧泵激光器的冷却方法,所述半导体侧泵激光器包括激光腔和设置于激光腔内的激光晶体棒,所述激光腔采用多排半导体bar条对激光晶体棒进行泵浦,其特征在于,所述方法包括:
在所述激光腔的腔壁上设置多个喷雾装置,该喷雾装置向所述激光晶体棒喷射水雾;
在激光腔中与激光晶体棒平行的方向上设置进风口和出风口,使所述激光腔内的气流从进风口向出风口流动。
2.如权利要求1所述的半导体侧泵激光器的冷却方法,其特征在于,所述多排喷雾装置沿着所述激光晶体棒的长度方向设置,各排喷雾装置均匀地分布在所述腔壁的内侧。
3.如权利要求2所述的半导体侧泵激光器的冷却方法,其特征在于,该方法还包括:在所述激光腔的内侧腔壁上开设多条狭缝,在每条狭缝中均匀地设置多个喷雾装置,使一条狭缝对应一排喷雾装置。
4.如权利要求3所述的半导体侧泵激光器的冷却方法,其特征在于,使喷雾装置的排数等于半导体bar条的排数,所述每排bar条与每排喷雾装置均匀相间地排布在激光腔体内。
5.一种半导体侧泵激光器的冷却装置,所述半导体侧泵激光器包括激光腔和设置于激光腔内的激光晶体棒,所述激光腔采用多排半导体bar条对激光晶体棒进行泵浦,其特征在于,所述装置包括:
多个喷雾装置,设置在所述激光腔的腔壁,该喷雾装置用于所述激光晶体棒喷射水雾;
进风口和出风口,设置于激光腔中且与所述激光晶体棒平行的方向上,用于使所述激光腔内的气流从进风口向出风口流动。
6.如权利要求5所述的半导体侧泵激光器的冷却装置,其特征在于,所述多排喷雾装置沿着所述激光晶体棒的长度方向设置,各排喷雾装置均匀地分布在所述腔壁的内侧。
7.如权利要求6所述的半导体侧泵激光器的冷却装置,其特征在于,所述激光腔的内侧腔壁上开设有多条狭缝,在每条狭缝中均匀地设置多个喷雾装置,以便一条狭缝对应一排喷雾装置。
8.如权利要求7所述的半导体侧泵激光器的冷却装置,其特征在于,所述喷雾装置的排数等于所述半导体bar条的排数,所述每排bar条与每排喷雾装置均匀相间地排布在激光腔体内。
9.如权利要求5至7中任一项所述的半导体侧泵激光器的冷却装置,其特征在于,所属激光腔体的底部具有聚水管,所述聚水管连接到回收水箱。
10.如权利要求9所述的半导体侧泵激光器的冷却装置,其特征在于,所述回收水箱中的水能够被喷雾装置回收利用。
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