[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器

说明书

技术领域

本发明涉及防尘薄膜组件收纳容器。

背景技术

在大规模集成电路或超大规模集成电路等的半导体制造或液晶显示器等的制造过程中，需要进行将光照射到半导体晶片或液晶用原板上从而制作图案的光刻作业。此时，如果光掩模或精密掩模上附着了灰尘，有时会发生

转印图案的变形，或边缘不清晰且基底脏污等现象。这是由于灰尘会吸收光或使其屈折的缘故。这种作业通常是在无尘室里进行的，但要保持光掩模的时常清洁是很困难的，所以，通常使用将透明的防尘薄膜粘贴于防尘薄膜组件框架而制作的防尘薄膜组件。例如，在进行光刻时，将防尘薄膜组件置于光掩模上，既能够防止异物附着于光掩模上，又可通过将焦点对准光掩模上的图案进行曝光，从而不受附着于防尘薄膜上的灰尘的影响地进行转印。

另一方面，防尘薄膜组件本身如果附着了异物，也会导致异物向光掩模上附着，故要求其具有高度的清洁性。在防尘薄膜组件的保管和运输时，使用防尘薄膜组件收纳容器。通常使用通过注塑成型法或真空成型法得到的树脂制的防尘薄膜组件收纳容器。这是因为，树脂制的防尘薄膜组件收纳容器表面平滑，并且发生灰尘的风险小。

为了使收纳有防尘薄膜组件的内部保持清洁状态，要求防尘薄膜组件收纳容器具有一定的刚性，使得在运输等时即使受到外力也不容易发生变形。但是，树脂制的防尘薄膜组件收纳容器的刚性有一定的界限，因此，如下面的专利文献1，2所述，通常采取以下措施，即将铝合金的棒或方管等的加固构件以“日”字形状或“目”字形状安装在容器本体的外面以确保刚性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-170507号公报

专利文献2：日本专利第4391435号公报

发明内容

如像专利文献1、2所记载的那样，为使树脂制的防尘薄膜组件收纳容器具有足够的刚性而在容器本体的外面安装大量的加固构件的话，会导致防尘薄膜组件收纳容器的重量和成本的增加。为此，要求安装在防尘薄膜组件收纳容器上的加固构件以最小限度的需要获得足够的加固效果。

如上所述，由于树脂制的防尘薄膜组件收纳容器是通过注塑成型法或真空成型法而成型的，故成型之后的成型应力会逐渐释放，其形状、尺寸随时间的经过发生变化。防尘薄膜组件收纳容器越是大型这种随时间的变化越大。在随时间的变化后的防尘薄膜组件收纳容器的容器本体上安装加固构件时，甚至会出现因预先形成在容器本体上的安装孔发生了位置偏离，无法安装加固构件的情况。

本发明即为解决上述课题而提出的，本发明的目的是提供一种能够简单地在随时间的变化后的树脂制的容器本体上安装最小限度的加固构件，并且重量轻、刚性高的防尘薄膜组件收纳容器。

为了达到上述目的，提出以下技术方案:

1.一种防尘薄膜组件收纳容器，具备：载置防尘薄膜组件的方形的树脂制的容器本体；以及以其周缘部进行嵌合卡定从而覆盖所述防尘薄膜组件的树脂制的盖体，

沿着所述容器本体的外周缘形成的凸状拱肋的突出面形成为所述防尘薄膜组件的载置面，

其特征在于∶

安装于容器本体的外侧底面且在其外周缘与所述凸状拱肋之间的加固构件为框形体，其包含沿所述外周缘的各边固定的直棒状体在内的大小可以调整；或L字形体，其相互独立地固定于容器本体的各角部。

2.如上述1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述框形体由所述直棒状体和配置于所述容器本体的各角部的L字形体构成，为使所述框形体的大小可以调整，所述直棒状体和L字形体的安装位置是可变的。

3.如上述1或上述2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述L字形体形成为其角部为平面或曲面。

4.如上述1至3中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述防尘薄膜组件至少一边的长度为500mm以上。

5.如上述1至4中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述加固构件的底面与所述容器本体的外侧底面在同一平面上。

6.如上述1至5中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，在由所述凸状拱肋包围的容器本体的底面区域的各角部形成有角部拱肋，所述角部拱肋的两端与形成所述角部的两根凸状拱肋连接。

7.如上述1至6中任一项所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，在安装于所述容器本体的相对的边上的所述加固构件上，设有用于搬运所述防尘薄膜组件收纳容器的握持机构。