[发明专利]防卡死的转动装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜机，特别是一种防卡死的转动装置。更特别地，本发明涉及一种具有高真空高温高负载长时间防卡死的转动装置的改进，它能够避免在高真空高温高负载工作情况下，因转动装置卡死造成生产过程的失败和相应的经济损失。

背景技术

在真空镀膜过程中，为保证被镀元件上沉积材料的均匀性，一般都要使被镀元件转动起来（如球面旋转、平面旋转、行星旋转等），这就需要相应的转动装置。由于这些转动装置运行在高真空、高温和高负载的条件下，以及一般润滑油在真空高温条件下会挥发从而影响成膜质量（吸收增加，甚至膜层脱落），这就使得转动机构中的轴承等元件不允许添加润滑油。在这样的情况下，轴承中的滚珠就会跟常规的钢隔圈或铜隔圈发生硬磨损，时间稍长就出现卡死现象。本发明就是针对该现象进行改进。

发明内容

本发明的目的是提供一种防卡死的转动装置，具有高负载能力；尤其是轴向轴承滚珠隔圈采用陶瓷或聚四氟乙烯或石墨材料制成，具有在高温高真空下能长时间稳定运行的能力。解决了镀膜机在高真空、高温、高负载下转动装置长时间运行的卡死问题。

本发明的技术解决方案如下：

一种防卡死的转动装置，其特点在于，该装置包括轴套、第一径向轴承、轴向轴承、第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈、轴套盖、第一隔圈、转动轴、螺栓、转动轴盖、键、传动齿轮和固定板，在所述的转动轴和轴套之间，自内向外依次套设第二径向轴承、第三隔圈、轴向轴承、轴向轴承滚珠隔圈、第二隔圈和第一径向轴承，然后套设第一隔圈和轴套盖，通过螺栓和键将转动轴盖和传动齿轮套设在所述的转动轴端口，所述的轴套和固定板固定在一起。

所述的轴向轴承滚珠隔圈采用陶瓷、聚四氟乙烯或石墨材料制成。

在转动上采用三轴承结构，采用二个径向轴承和一个轴向轴承，这样可以保证转动的稳定性，既不会晃动，也不会跳动。

在负载上，载荷通过第三隔圈传递到第一径向轴承的内圈，然后通过第二隔圈传递到轴向轴承，通过第三隔圈传递到第二径向轴承的外圈，最后传递到轴套和固定板上。这样二个径向轴承只会承受径向跳动的力，轴向（负载方向）的力全部由轴向轴承承担，由于轴向轴承能承受大的轴向力，因此，整个转动结构能承受高的负载。

在防卡死上，由于负载全部由轴向轴承承担，因此轴向轴承的隔圈磨损最厉害，是引起转动装置卡死的主要原因。本发明采用陶瓷或聚四氟乙烯或石墨材料的隔圈，磨损下来的屑不会粘在滚珠上，还可起到润滑的作用，具有长时间防卡死的功能。

与现有技术相比较，本发明具有以下优良效果：

1.采用三轴承结构，具有高负载能力；

2.采用陶瓷或聚四氟乙烯或石墨材料的隔圈，具有在高温高真空下能长时间运行的能力。

附图说明

图1为本发明转动防卡死装置剖面结构示意图。

具体实施方式

先请参阅图1，图1为本发明转动防卡死装置剖面结构示意图。由图可见，本发明防卡死的转动装置，该装置包括轴套1、第一径向轴承2、轴向轴承3、第二径向轴承4、第三隔圈5、轴向轴承滚珠隔圈6、第二隔圈7、轴套盖8、第一隔圈9、转动轴10、螺栓11、转动轴盖12、键13、传动齿轮14和固定板15，所述的转动轴10和轴套1之间，自轴内向轴外端依次套设第二径向轴承4、第三隔圈5、轴向轴承3、轴向轴承滚珠隔圈6、第二隔圈7和第一径向轴承2，然后套设第一隔圈9和轴套盖8，通过螺栓11和键13将转动轴盖12和传动齿轮14套设在所述的转动轴10的端口，所述的轴套1和固定板15固定在一起。所述的轴向轴承滚珠隔圈6采用陶瓷、聚四氟乙烯或石墨材料制成。

实验表明，本发明装置在镀膜机长期使用，转动一直保持稳定，从没出现卡的现象，发出的声音也一直保持良好，解决了镀膜机在高真空、高温、高负载下转动装置的卡死问题。本发明装置还可以用于高温、高真空、高负载条件下的转动防卡死转动轴承等部位。