[发明专利]涂覆基板的设备以及涂覆基板的方法

权利要求书

1.一种用于涂覆基板的设备，包括：

水平涂覆单元，所述水平涂覆单元具有入口和出口，基板经由所述入口和所述出口水平地移入和移出，并且所述水平涂覆单元以水平浸涂的方式使用涂覆液体涂覆所述基板的表面以形成保护层；以及

刮板单元，所述刮板单元布置在所述水平涂覆单元的所述出口的外侧，并且所述刮板单元与经由所述出口从所述水平涂覆单元移出的所述基板的所述保护层紧密接触以使所述保护层的涂层厚度均匀化。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述水平涂覆单元包括：

涂覆槽，所述入口和出口以彼此面对的方式分别布置在所述涂覆槽的两侧处，并且所述涂覆槽容纳用于形成所述保护层的所述涂覆液体；以及

入口辊和出口辊，所述入口辊和所述出口辊使所述基板移入和移出所述涂覆槽，

其中，所述入口辊和所述出口辊分别包括分别布置在所述涂覆槽的所述入口和所述出口处的一对辊，并且，在每对辊之中，一个辊布置在上侧处而另一个辊布置在下侧处。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述水平涂覆单元还包括：

主箱，所述主箱容纳从所述涂覆槽溢出的所述涂覆液体；以及

回收单元，所述回收单元将所述涂覆液体连续地供应到所述涂覆槽中。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述回收单元包括：

回收所述涂覆液体的回收流动通道；

供应所述涂覆液体的供应流动通道；以及

介于所述回收流动通道与所述供应流动通道之间以提供用于回收和供应所述涂覆液体的流动力的泵。

5.根据权利要求1所述的设备，其中，所述刮板单元包括一对金属刮板，

其中，所述金属刮板中的一个与所述基板的顶表面紧密接触且另一个与所述基板的底表面紧密接触，所述金属刮板抵靠所述基板的接触压力能够根据所述保护层的所述涂层厚度而调节。

6.一种用于涂覆基板的方法，包括：

以水平浸涂的方式通过水平涂覆单元使用涂覆液体涂覆基板的表面，以形成保护层；以及

通过刮板单元使涂覆在所述基板上的所述保护层的涂层厚度均匀化。