[发明专利]高性能低成本AZO复合靶材制备工艺研究

权利要求书

1.一种新型致密的复合氧化锌铝，其特征是在粉末中加入氧化镓(Ga2O3)粉末、并且不添加任何烧结助剂而使氧化锌铝烧结致密化，所述的烧结AZO纯度高于99.9％，相对密度≥99.4％。

2.根据权利要求1所述的致密复合氧化锌铝，主要是通过球磨-干燥-过筛-成型-烧结等工序制成。

3.根据权利要求1所述的烧结复合氧化锌铝，适用于普通粒度的粉末原料(粒度5-20微米)和超细的粉末原料(小于5微米)，不加入任何烧结助剂，就可制备出高纯度、高密度、低成本、各种复杂形状的烧结复合氧化锌铝。