[发明专利]化学液供应与回收装置

权利要求书

1.一种化学液供应与回收装置，其特征在于，包括：溶剂供应单元、化学液原液供应单元、化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元；

所述溶剂供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应溶剂，所述化学液原液供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应化学液原液，所述化学液混合和供应单元将溶剂和化学液原液均匀混合并输出，所述回收液混合和供应单元将已经过净化处理过的回收液与溶剂或化学液原液均匀混合并供应至化学液混合和供应单元。

2.根据权利要求1所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述溶剂供应单元包括流量控制器，流量控制器控制溶剂流量大小，溶剂流经流量控制器后连接到两路溶剂管路，两路溶剂管路分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应溶剂。

3.根据权利要求2所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述溶剂流经流量控制器后流经的每一路溶剂管路上各设置有一溶剂阀门，溶剂阀门控制溶剂的供应。

4.根据权利要求1所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述化学液原液供应单元包括原液槽，原液槽盛放化学液原液，所述原液槽与一计量泵的输入端相连接，计量泵的输出端与两路原液管路相连接，所述两路原液管路分别与化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元相连接，两路原液管路分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应化学液原液。

5.根据权利要求4所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述两路原液管路上分别设置有一原液阀门，原液阀门控制化学液原液的供应。

6.根据权利要求4所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述计量泵的输出端与两路原液管路之间设置有气泡阀门，气泡阀门将与计量泵的输出端相连接的管路中的气泡排出。

7.根据权利要求6所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述气泡阀门是一手动阀。

8.根据权利要求4所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述原液槽与一补充管路相连接，补充管路向原液槽补充化学液原液，所述补充管路上设置有一补充阀门。

9.根据权利要求4所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述原液槽上设置有一对液位传感器，分别检测原液槽内最高液面和最低液面。

10.根据权利要求1所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述化学液混合和供应单元包括溶液槽，溶液槽盛放溶剂和化学液原液的混合液。

11.根据权利要求10所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述化学液混合和供应单元还包括搅拌器，搅拌器的输入端分别与溶剂供应单元及化学液原液供应单元相连接，溶剂和化学液原液进入搅拌器内进行搅拌混合，搅拌器的输出端与化学液混合和供应单元的溶液槽通过搅拌器管路相连接。

12.根据权利要求11所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述搅拌器的输出端与化学液混合和供应单元的溶液槽相连接的搅拌器管路上设置有搅拌器阀门。

13.根据权利要求10所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述溶液槽与第一气动泵的输入端相连接，所述第一气动泵的输出端与溶液槽相连接。

14.根据权利要求13所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述第一气动泵的输出端还通过第一气动泵管路将溶液槽内混合均匀的化学液输出，所述第一气动泵管路上设置有第一气动泵阀门。

15.根据权利要求10所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述溶液槽与第二气动泵的输入端相连接，所述第二气动泵的输出端通过第二气动泵管路将溶液槽内混合均匀的化学液输出，所述第二气动泵管路上设置有第二气动泵阀门。

16.根据权利要求10所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述溶液槽上设置有一对液位传感器，分别检测溶液槽内最高液面和最低液面。

17.根据权利要求1所述的化学液供应与回收装置，其特征在于，所述回收液混合和供应单元包括回收槽，回收槽盛放经过净化处理过的回收液，回收槽分别与溶剂供应单元及化学液原液供应单元相连接。