[发明专利]物理量传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种物理量传感器，包括：

基板；

固定部及固定电极部，其被固定在所述基板上；

可动体，其具备支承部、可动电极部以及弹簧部，并且能够沿着与第一轴交叉的第二轴进行位移，其中，所述支承部在俯视观察时被设置在所述固定部的周围，所述可动电极部被支承在所述支承部上并沿着所述第一轴而延伸，且以与所述固定电极部对置的方式而配置，所述弹簧部对所述固定部和所述支承部进行连结，

所述支承部具备沿着所述第一轴而延伸的第一梁部、和沿着所述第二轴而延伸的第二梁部，

所述第二梁部沿着所述第二轴而设置有一对，

所述可动电极部从各个所述第二梁部起沿着所述第一轴而延伸，

相对于一个所述固定电极部，对置有至少两个所述可动电极部，

所述固定电极部具有与其他部分相比沿着所述第二轴的方向上的大小较宽的宽幅部，

所述固定电极部被设置有多个，

在多个所述固定电极部中的相邻的第一固定电极部与第二固定电极部之间，配置有所述可动电极部，

所述第一固定电极部的所述宽幅部与所述第一固定电极的所述其他部分相比向所述第二固定电极部侧突出，

所述第二固定电极部的所述宽幅部与所述第二固定电极的所述其他部分相比向所述第一固定电极部侧突出，

在从沿着所述第一轴的方向观察时，所述第一固定电极部的所述宽幅部与所述第二固定电极部的所述宽幅部重叠。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述固定部以在俯视观察时与结构体的重心重叠的方式而设置，所述结构体被构成为，包括所述固定部以及所述可动体。

3.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

所述第一梁部具备所述可动电极部的功能，

在所述基板上，以与所述第一梁部对置的方式而设置有所述固定电极部。

4.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

以与所述弹簧部相邻的方式而设置有所述可动电极部。

5.如权利要求1或2所述的物理量传感器，其中，

所述第二梁部沿着所述第二轴而设置有一对，

所述可动电极部的两端部与所述第二梁部分别连接。

6.一种电子设备，

包括权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器。