[发明专利]防尘薄膜组件框架及防尘薄膜组件无效
申请号: | 201310114196.2 | 申请日: | 2013-04-03 |
公开(公告)号: | CN103365074A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 关原一敏 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F1/64 | 分类号: | G03F1/64 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 郭广迅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防尘 薄膜 组件 框架 | ||
1.一种防尘薄膜组件框架,其为通过溶融加压成型得到的树脂制的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述防尘薄膜组件框架由混合有纤维状的强度增强剂的热塑性树脂形成。
2.如权利要求1所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述强度增强剂的长度为0.2~10mm,且粗细为0.05~20μm。
3.如权利要求1或权利要求2所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述强度增强剂选自由碳纤维、芳纶纤维、玻璃纤维、碳纳米管组成的组。
4.如权利要求1~3中任一项所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,相对于所述热塑性树脂,以重量比计所述强度增强剂的含量为5~50%的范围。
5.如权利要求1~4中任一项所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述溶融加压成型为注射成型。
6.如权利要求1~5中任一项所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述热塑性树脂选自由聚丙烯、丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂、聚碳酸脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚缩醛、聚苯醚、聚酰胺、聚苯硫醚、聚醚醚酮、液晶聚合物组成的组。
7.如权利要求1~6中任一项所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述防尘薄膜组件框架的至少内侧表面,由对紫外线具有耐光性的树脂覆膜覆盖。
8.如权利要求7所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述树脂覆膜由氟树脂或有机硅树脂构成。
9.如权利要求7或权利要求8所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,所述树脂覆膜为黑色。
10.如权利要求7~9中任一项所述的防尘薄膜组件框架,其特征在于,覆盖所述防尘薄膜组件框架内侧表面的所述树脂覆膜为由粘着性树脂构成的内表面粘着层覆盖。
11.一种防尘薄膜组件,其特征在于,在权利要求1~10中任一项所述的防尘薄膜组件框架的一侧的表面粘贴有防尘薄膜。
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G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
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