[发明专利]一种氧化铝前驱体溶液及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201310115583.8 | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN103194741A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 马万里;彭军 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C23C20/08 | 分类号： | C23C20/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 前驱 溶液 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种氧化铝前驱体溶液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(a) 将冰醋酸于100～120℃加热20～30分钟，再加入无水氯化铝，于100～120℃反应8～10分钟后得到半透明的醋酸铝胶体；无水氯化铝与冰醋酸的质量比为1∶5～10；
(b) 将上述醋酸铝胶体放入高速离心机，于6000～8000rpm离心10～15分钟后得到醋酸铝颗粒；
(c) 将步骤(b)中的醋酸铝颗粒放入去离子水、丙酮或者醇类溶剂中，配制成质量浓度为20%～40%的溶液，震荡或者搅拌8～12小时即为所述的氧化铝前驱体溶液。
2. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(a)中无水氯化铝与冰醋酸的质量比为1∶6。
3. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(c)中醇类溶剂选自2-甲氧基乙醇、甲醇、乙醇、乙二醇、丙三醇、异丙醇中的一种。
4. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤(c)中溶液还包括乙醇胺。
5. 根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：所述乙醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺或者三乙醇胺。
6. 由权利要求1～5任意一种方法制备得到的氧化铝前驱体溶液。
7. 权利要求6所述的氧化铝前驱体溶液在制备氧化铝中的应用。
8. 权利要求6所述的氧化铝前驱体溶液在制备氧化铝薄膜中的应用。
9.根据权利要求7或者8所述的应用，其特征在于：所述制备温度为150～180℃。
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