[发明专利]陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备，尤其涉及一种防止驱动系统的损坏和粘着的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。

背景技术

一直以来，为了检测数码照相机、摄像机、移动电话、汽车导航系统等电子设备的角速度，以便实施姿态控制等，而将陀螺传感器搭载于这些电子设备中。MEMS（Micro Electro Mechanical System，微型机电系统）静电电容型的陀螺传感器具有驱动系统和检测系统，在以一定的振动频率振动着的驱动系统及与之连动的检测系统上被施加有角速度时，通过将该检测系统中所产生的科里奥利力作为检测系统（可动电极）与固定电极的静电电容的变化而进行检测，从而对角速度进行检测，然而在很多情况下，驱动系统以包围检测系统的外侧的方式而配置。而且，在很多情况下，为了使加速度成分抵消而仅对角速度进行检测，会并列配置两个驱动系统与检测系统的单元，然而在这种情况下，两个驱动系统以反相而被驱动，从而向相反方向进行振动。因此，当对陀螺传感器的驱动电极施加过度的电压等物理量、或使陀螺传感器落下时，会使驱动系统与被配置在外侧的元件相碰撞、或者使两个驱动系统彼此相碰撞，从而存在损坏的危险性。而且，特别是在使用了硅的陀螺传感器中，在电极表面上所产生的电荷将相互吸引，从而存在使电极彼此间粘着而不能分离的危险性。

在专利文献1中，公开了一种电容式力学量传感器，其具备：能够根据物理量而进行位移的可动电极；隔开微小的空隙而与可动电极对置的固定电极。并记载了如下内容，即，为了抑制可动电极与固定电极之间的粘合，而在可动电极和固定电极中的至少一个电极上，形成有从该一个电极朝向另一个电极而设置了高低差的突起，从而防止电极彼此间或固定部与锤部彼此间粘合的情况。

然而，虽然在专利文献1所记载的电容式力学量传感器中，在与可动电极对置的固定电极的侧面设置有突起部，但是对应于形成突起部的量而需要使电极间距离增大，从而成为阻碍元件的小型化的主要因素。

专利文献1：日本特开2002-228680号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种防止因碰撞而使元件彼此间粘着的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。而且，本发明的目的还在于，提供一种即使在固定电极与可动电极之间未形成突起也能够避免因冲击而造成的固定电极与可动电极的接触的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。此外，本发明的目的还在于，提供一种防止因碰撞而使元件损坏的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。

本发明为，为了解决上述课题中的至少一部分而完成的发明，并能够作为以下的方式或应用例而实现。

［应用例1］

一种陀螺传感器，其特征在于，具备：驱动质量块，其通过驱动部而在第一方向上被驱动；检测质量块，其与所述驱动质量块相连结；驱动用连结部，其一端被连结在所述驱动质量块上，而另一端被固定在第一固定部上；第一岛部，其与所述第一固定部相连接，且以与所述驱动质量块隔着间隙的方式而被配置，并且与该驱动质量块电连接；突起，其被设置在所述驱动质量块的对置于所述第一岛部的面、与所述第一岛部的对置于所述驱动质量块的面中的至少一个面上，所述驱动部包括：可动电极部，其与所述驱动质量块相连接；固定电极部，其以与所述可动电极部对置的方式而被设置，所述驱动质量块与所述第一岛部之间的最短距离大于所述驱动质量块的驱动振幅，并且小于所述可动电极部的最大振幅。

根据本发明，由于即使驱动质量块大幅度振动而碰撞到突起，也能通过突起而使冲击被缓冲，因此能够防止驱动质量块的损坏。而且，由于碰撞到突起时的接触面积较小，并且驱动质量块、突起以及第一岛部被电连接从而成为相同电位，因此能够防止突起、与第一岛部或驱动质量块之间的粘着。而且，在能够使驱动质量块以所设计的驱动振幅进行振动的同时，即使不在固定电极部与可动电极部之间形成突起，也能够避免固定电极部与可动电极部之间的接触。

［应用例2］

如应用例1所述的陀螺传感器，其特征在于，所述第一岛部在与所述驱动质量块对置的位置处，具备朝向所述驱动质量块而延伸设置、并对所述第一岛部与所述驱动质量块之间的距离进行规定第一距离规定部，所述突起被设置于，所述驱动质量块的对置于所述第一距离规定部的面、以及所述第一距离规定部的对置于所述驱动质量块的面中的至少一个面上。

根据本发明，通过第一距离规定部，能够调节所设置的突起、与对置于该突起的元件（突起、驱动质量块、或第一距离规定部）之间的距离。

［应用例3］