[发明专利]铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法

权利要求书

1.一种铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，包括待测样品溶液制备、络合显色和吸光度测试及数据处理：

（1）待测样品溶液制备：铟镓氮晶片，用稀盐酸和丙酮除油除尘、干燥，准确称量样品，采用碱熔法对铟镓氮样品表面进行刻蚀，用硫酸调节刻蚀液酸度PH值介于2～3之间，定容得到待测样品溶液；

（2）络合显色和吸光度测试：依次向待测样品溶液中加入硫酸、碘化钾溶液、硫代硫酸钠溶液和乙基紫溶液，得到铟—乙基紫蓝紫色络合物，用苯萃取有机相得到待测样品络合物溶液，采用分光光度计测定络合物溶液在619nm±5nm处的吸光度；

（3）数据处理：以络合显色铟标准溶液在619±5nm处的吸光度与铟元素含量关系为基准；

用待测样品络合物溶液在619nm±5nm处的吸光度，与铟标准溶液曲线比对，按下式计算得到样品中铟镓氮晶片外延层中铟元素含量：

wAl=mm0-m1×100]]>

式中：w_In—铟镓氮外延层中铟元素质量分数；

m—分光光度法测量得到的铟元素的质量；

m₀—铟镓氮晶片的原始质量；

m₁—刻蚀后铟镓氮晶片的质量。

2.根据权利要求1的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，所述样品刻蚀过程为多次刻蚀。

3.根据权利要求2的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，所述样品刻蚀单次氢氧化钠用量不大于0.05g/cm²，单次刻蚀时间不大于30s。

4.根据权利要求1或2的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，所述样品刻蚀程度采用光致发光光谱仪监测，以出现衬底峰为刻蚀终点，扫描范围（350～800）nm之间，测量步长为（1～3）nm。

5.根据权利要求1或2的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，所述调节酸度用硫酸的浓度介于（3～6.）mol·L^-1之间。

6.根据权利要求5的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，所述调节酸度用氨水的浓度介于（0.1～2）mol·L^-1之间。