[发明专利]晶圆缺陷抽样检测系统及其方法

权利要求书

1.一种晶圆缺陷抽样检测系统，包括复数个机台及至少一个扫描站点，其特征在于：还包括一控制系统，该控制系统主要由MCU控制单元、计数单元及存储单元构成，所述MCU控制单元与每一机台运行控制端连接，并由所述计数单元计数作业时间T，每一所述扫描站点数据端与所述MCU控制单元连接，所述存储单元内预设对应每一机台的报警时间T1及停机时间T2。

2.根据权利要求1所述的晶圆缺陷抽样检测系统，其特征在于：所述控制系统中设有通讯单元，通过有线网络或无线网络与操作人员电子邮箱或手机连接。

3.一种晶圆缺陷抽样检测方法，其步骤为：

⑴控制系统内设置需要监控的机台列表，为列表中的每一机台预设一报警时间T1及一停机时间T2，机台运行后控制系统开始计数，获得作业时间T；

⑵当测得机台作业时间T大于对应机台设定的T1，且未收到扫描站点发送的缺陷扫描数据M时，抓取产品进入扫描站点，并继续计时；

⑶当机台获得缺陷扫描数据M，且未达到停机时间T2时，则控制系统为该机台的作业时间T清零；若该机台在作业时间T=停机时间T2后，仍未收到缺陷扫描数据M，则该机台停机，待获取缺陷扫描数据M后，该机台重新作业，且将作业时间T清零；

⑷重新计数，返回步骤⑵。

4.根据权利要求3所述的晶圆缺陷抽样检测方法，其特征在于：所述步骤⑴中，每一机台预设的报警时间T1及停机时间T2根据该机台加工的晶圆规格及特性设定，以获得每一批次的缺陷扫描数据M。

5.根据权利要求3所述的圆缺陷抽样检测方法，其特征在于：所述步骤⑵中，当抓取产品进入扫描站点后，系统同时发送报警信号至操作人员处。

6.根据权利要求5所述的圆缺陷抽样检测方法，其特征在于：所述报警信号通过有线网络发送邮件至操作人员邮箱内，或通过无线网络发送短信至操作人员手机上。

7.根据权利要求3所述的圆缺陷抽样检测方法，其特征在于：所述步骤⑶中，机台停机后，控制系统将设置该机台为锁定状态，同时发送停机信号至操作人员处，待获取缺陷扫描数据M后，由操作人员为机台设定解锁，机台恢复作业。

8.根据权利要求7所述的圆缺陷抽样检测方法，其特征在于：所述停机信号通过有线网络发送邮件至操作人员邮箱内，或通过无线网络发送短信至操作人员手机上。