[发明专利]接合导热基板与金属层的方法无效

专利信息
申请号: 201310118784.3 申请日: 2013-04-08
公开(公告)号: CN103715099A 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 陈建铭 申请(专利权)人: 旭德科技股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 接合 导热 金属 方法
【权利要求书】:

1.一种接合导热基板与金属层的方法,包括:

提供一导热基板、一第一金属层及一前置层,其中该前置层位于该导热基板与该第一金属层之间,且该前置层为一第二金属层或一金属氧化物层;以及

在一无氧环境下,对该前置层进行一加热制作工艺,以将该前置层转换成一接合层来接合该导热基板与该第一金属层,其中该加热制作工艺的温度小于或等于300°C。

2.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中在该前置层形成于该导热基板或该第一金属层上之后,叠合该导热基板与该第一金属层,以使该前置层位于该导热基板与该第一金属层之间。

3.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该第二金属层包括银层或铜层。

4.如权利要求3所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该第二金属层的形成方法包括电镀法。

5.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该第二金属层为含有多个金属粒子的胶层。

6.如权利要求5所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该些金属粒子的材质包括银、铜或其组合。

7.如权利要求5所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该些金属粒子的粒径范围介于5纳米至50纳米。

8.如权利要求5所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该第二金属层的形成方法包括涂布法。

9.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该金属氧化物层包括氧化银层或氧化铜层。

10.如权利要求9所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该金属氧化物层的形成方法包括无电镀法。

11.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该金属氧化物层为一含有多个金属氧化物粒子的胶层。

12.如权利要求11所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该些金属氧化物粒子的材质包括氧化银或氧化铜。

13.如权利要求11所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该金属氧化物层的形成方法包括涂布法。

14.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该导热基板的材料包括金属或合金。

15.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该导热基板包括具有一金属表面的一陶瓷基板,且该第一金属层通过该接合层与该金属表面接合。

16.如权利要求1所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该无氧环境包括一惰性气体或一还原气体的环境。

17.如权利要求16所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该惰性气体包括氮气或氩气。

18.如权利要求16所述的接合导热基板与金属层的方法,其中该还原气体包括氢气或含有氢气的气体。

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