[发明专利]图案形成装置

权利要求书

1.一种图案形成装置，使担载体上的图案形成区域与板状的物体相抵接来形成图案，其特征在于，具有：

负压供给单元，用于供给负压，

吸附单元，利用由所述负压供给单元供给的负压来吸附保持所述物体，

所述吸附单元对所述物体上的在形成所述图案时与所述图案形成区域相向的区域的外侧进行吸附。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

所述吸附单元具有：

吸附板，在该吸附板的用于吸附保持所述物体的吸附面上的与所述图案形成区域相向的区域的外侧，设置有由所述负压供给单元供给负压的开口；

多个局部吸附部，在所述物体上的比所述图案形成区域更靠外侧的区域，所述多个局部吸附部分别局部地吸附所述物体。

3.如权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，

多个所述局部吸附部中的至少一部分所述局部吸附部是能够在特定方向上发生弹性变形的吸附垫，该特定方向是指，在使所述物体和所述担载体相抵接后，使所述物体和所述担载体分离的方向。

4.如权利要求2或3所述的图案形成装置，其特征在于，

所述开口为包围所述吸附面上的在形成所述图案时与所述图案形成区域相向的区域的吸附槽。

5.如权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于，

多个所述局部吸附部在所述吸附板上比所述吸附槽更靠外侧。