[发明专利]用于检查石墨烯板的设备和方法

说明书

相关专利申请的交叉引用

本申请要求于2012年4月9日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0036800号韩国专利申请和于2012年8月8日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0086942号韩国专利申请的优先权，其全部公开通过引用包含于此。

技术领域

与示例性实施例一致的设备和方法涉及仪器的测量，更具体地讲，涉及检查形成有石墨烯的石墨烯板。

背景技术

随着半导体技术的发展，正在积极执行关于新材料的开发。具体地讲，正在进行对于包括碳的材料(例如，碳纳米管、金刚石、石墨、石墨烯等)的研究。具体地讲，作为包括碳的纳米材料的石墨烯的导电率是铜的100倍或更高，并且可以以硅的100倍或者更高倍数的速度迅速转移电子。因此，石墨烯已逐渐取代电子设备的导电材料，并且石墨烯板可以是一种导电材料。石墨烯板具有这样的状态：对由绝缘材料形成的基底上形成的石墨烯层进行图案化。

在第2010-175433号日本开放专利公布(laid-open Patent Publication)中公开了一种检查石墨烯板的方法。详细地讲，该日本开放专利公布公开了一种通过在透明导电膜上照射紫外(UV)线来确定是否存在透明导电膜的方法。然而，需要更具体的方法来检查石墨烯板。

发明内容

一个或多个示例性实施例提供一种用于检查石墨烯板的状态的设备和方法。

根据示例性实施例的一方面，提供一种用于检查形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备，所述石墨烯板检查设备包括：光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将所接收的至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测的透射率以通过分析检测的透射率来确定石墨烯板的状态。

所述至少一束光中的每束光可具有380nm到780nm的波长。

可在外部光被阻挡的地方检查石墨烯板。

光处理单元可包括：室，具有密封的内部空间以阻挡外部光；基底支撑构件，布置在室中并具有安装在它上面的石墨烯板；发光装置，布置在基底支撑构件的上方，并将所述至少一束光照射到石墨烯板上；和光接收装置，布置在基底支撑构件的下方，并接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。

发光装置可布置在室的顶部。光接收装置可布置在室的底部。

从发光装置发射的所述至少一束光可沿垂直方向穿透石墨烯板。

基底支撑构件可沿水平方向移动石墨烯板。

确定单元可包括：数据计算单元，通过分析检测的透射率来计算所述至少一个石墨烯层的宽度和所述至少一个石墨烯层之间的间距；分类单元，通过分析检测的透射率来将石墨烯板分类为好的石墨烯板和有缺陷的石墨烯板。

用于对形成在石墨烯板中的所述至少一个石墨烯层进行图案化的图案化单元可布置在石墨烯板检查设备的前端。

石墨烯板可包括透明材料，从光处理单元发射的所述至少一束光穿透该透明材料。

光处理单元可包括：发光装置，发射光；光分割单元，将从发光装置发射的光分割成包括多束光的所述至少一束光，并将分割的所述至少一束光照射到石墨烯板；和光接收装置，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光。

根据另一示例性实施例的一方面，提供一种检查石墨烯板的方法，所述方法包括：制备在基底上形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板；将至少一束光照射到石墨烯板；检测穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；以及通过分析检测的透射率来确定石墨烯板的状态。

所述至少一束光可具有380nm到780nm的波长。

所述方法可还包括：通过分析所述至少一束光的透射率来测量形成在石墨烯板上的所述至少一个石墨烯层的宽度和所述至少一个石墨烯层之间的间距。

附图说明

通过参照附图详细描述示例性实施例，以上和其它方面将会变得更加明显，其中：

图1是根据示例性实施例的安装有石墨烯板的石墨烯板检查设备的示意性框图；

图2是根据示例性实施例的图1中示出的确定单元的框图；

图3是根据示例性实施例的由图1的石墨烯板检查设备检查的石墨烯板的剖视图；

图4是示出根据示例性实施例的穿透石墨烯板的光的透射率的曲线图；

图5示出根据示例性实施例的图1中示出的发光装置的结构；

图6示出根据示例性实施例的图1中示出的光接收装置的结构；