[发明专利]一种进气装置、反应腔室及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种进气装置，用于根据工艺需求，向反应腔室内部的不同区域输送工艺气体，其特征在于，所述进气装置包括中央进气口、扩散板和第一驱动源，其中

所述中央进气口的下端与所述反应腔室的内部连通；

所述扩散板与所述中央进气口的下端形成水平进气口，且所述扩散板包括中心柱和至少两个扇叶，所述至少两个扇叶环绕所述中心柱间隔设置，且与所述中心柱可上下摆动地连接；

所述第一驱动源用于单独和/或同时驱动所述至少两个扇叶向上或向下摆动，以改变所述扇叶所在平面与所述中央进气口之间的角度。

2.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述第一驱动源的数量与所述扇叶的数量一一对应，并且每个所述第一驱动源与所述扇叶一一对应地连接。

3.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，在相邻两个所述扇叶之间的间隙的下方设置有遮挡板，在所述中心柱的径向上，所述遮挡板的长度不小于所述间隙的长度；在垂直于所述中心柱的径向的方向上，所述遮挡板的长度不小于所述间隙的长度。

4.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述进气装置还包括数量与所述扇叶的数量相对应的第一连杆，每个所述第一连杆的一端和与之相对应的所述扇叶固定连接；每个所述第一连杆的另一端与所述第一驱动源的驱动轴连接。

5.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述进气装置还包括第二驱动源，第二驱动源的驱动轴与所述中心柱连接，在所述第二驱动源的驱动下，所述中心柱带动所述至少两个扇叶相对于所述中央进气口同时上升或下降，以调节所述水平进气口的通气截面积。

6.根据权利要求5所述的进气装置，其特征在于，所述进气装置还包括第二连杆，所述第二连杆的一端与所述中心柱固定连接，所述第二连杆的另一端穿过所述中央进气口，并与所述第二驱动源的驱动轴固定连接。

7.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，在每个所述扇叶的上表面上形成有凸部，并且所述至少两个扇叶上的凸部组合形成位置与所述中央进气口相对应的圆锥状凸部。

8.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，在每个所述扇叶上分布有贯穿其厚度的多个垂直进气口。

9.一种反应腔室，其特征在于，包括权利要求1-8任意一项所述的进气装置，用以向反应腔室内部的不同区域输送工艺气体；并且，所述中央进气口设置在所述反应腔室的腔室顶壁上；所述扩散板位于所述反应腔室内。

10.根据权利要求9所述的反应腔室，其特征在于，在所述腔室顶壁上设置有贯穿其厚度的连接孔，所述连接孔的数量和位置与所述扇叶的数量和位置一一对应；并且，每个所述第一连杆的一端和与之相对应的所述扇叶固定连接；每个所述第一连杆的另一端穿过相应的所述连接孔与所述第一驱动源的驱动轴连接。

11.根据权利要求10所述的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室还包括第一波纹管，所述第一波纹管的数量与所述第一连杆的数量相对应，且每个所述第一波纹管套制在相应的所述第一连杆上，并且所述第一波纹管的下端与相应的所述连接孔的上端密封连接，所述第一波纹管的上端与所述第一连杆密封连接。

12.根据权利要求9所述的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室还包括第二波纹管，所述第二波纹管套制在所述第二连杆上，且所述第二波纹管的下端与所述中央进气口的上端密封连接，所述第二波纹管的上端与所述第二连杆密封连接，且在所述第二波纹管的内部形成与所述中央进气口相连通的密封空间，并且所述气源的输出端与所述密封空间相连通。

13.一种等离子体加工设备，包括反应腔室，其特征在于，所述反应腔室采用了权利要求9-12任意一项权利要求所述的反应腔室。