[发明专利]基于半透明复合阴极的顶发射有机电致发光器件及其制备方法无效
申请号: | 201310121301.5 | 申请日: | 2013-04-09 |
公开(公告)号: | CN103219471A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 谢文法;刘士浩;尹勇明;陈兆营;刘旸 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 张景林;刘喜生 |
地址: | 130012 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 半透明 复合 阴极 发射 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种采用半透明复合阴极的顶发射有机电致发光器件,由衬底、金属阳极、有机功能层、阴极和光取出层组成,有机功能层中依次包括空穴传输层、电子阻挡层、发光层和电子传输层;其特征在于:阴极为金属/半导体/金属的复合层结构,其中金属材料为金或银,半导体材料为锗。
2.如权利要求1所述的一种采用半透明复合阴极的顶发射有机电致发光器件,其特征在于:金属层的厚度为5~15nm,半导体层的厚度为5~15nm。
3.如权利要求1所述的一种采用半透明复合阴极的顶发射有机电致发光器件,其特征在于:在金属阳极和空穴传输层间增加阳极修饰层,在电子传输层和阴极之间增加阴极修饰层。
4.权利要求3所述的一种采用半透明复合阴极的顶发射有机电致发光器件的制备方法,其步骤如下:
1)将衬底依次用甲苯、丙酮、乙醇、去离子水超声清洗,然后烘干;
2)将处理好的衬底置于多源有机分子气相沉积系统中,在1×10-4Pa~8×10-4Pa条件下利用阳极掩模版在衬底上生长金属阳极,蒸发速率为0.1~0.5nm/s;
3)维持上述真空条件不变,在金属阳极上利用有机掩膜板依次蒸镀阳极修饰层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极修饰层,阳极修饰层、空穴传输层、发光层的生长速率为0.1~0.2nm/s,电子传输层、阴极修饰层的蒸发速率为0.01~0.02nm/s;
4)维持上述真空条件不变,利用阴极掩膜板在阴极修饰层之上继续依次蒸镀金属/半导体/金属的新型结构作为复合阴极,第一金属层的蒸发速率为0.1~0.5nm/s;半导体的蒸发速度为0.01~0.05nm/s;第一金属层的蒸发速率为0.02~0.05nm/s;
5)维持上述真空条件不变,在复合阴极之上继续蒸镀光取出层,其蒸镀速度为0.1~0.5nm/s,从而得到采用半透明复合阴极的顶发射有机电致发光器件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择