[发明专利]高灵敏真空动力引入装置及真空制程设备

说明书

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种高灵敏真空动力引入装置及真空制程设备，该真空动力引入装置可在真空作业环境下，将动力构件的摩擦力减弱，以达到以小动力即可完成真空机械动力引入，可快速准确反应出以微小动力输出的反应机构。

背景技术

目前，在半导体、光电、平面显示器以及表面镀膜处理等相关产业中，经常会看到真空系统的使用。由于特殊需求，真空系统需要与外界隔绝而呈高度真空的环境，确保制程于真空中进行。因此，要操作真空系统内的各种组件，必须使用真空动力引入装置来达成。

图5所示为现有真空动力引入装置，其包括有一壳体1，设置于一真空系统中；该壳体1内设置有一传动轴3，用来传递动力；为保持真空度，该壳体1与传动轴3之间设置有传动轴密封件5，该传动轴密封件5可为O型环或磁性流体，用来保持该壳体1与传动轴3之间的气密性，以及维持该传动轴3良好的转动。

然而，现有真空动力引入装置存有明显的缺点，有待加以改进。我们知道，对于动力传输的机构而言，摩擦力是影响效能的首要原因，而对于该现有真空动力引入装置而言，摩擦力的产生主要来自于该传动轴密封件5，当传动轴3旋转时，即会与传动轴密封件5发生摩擦，产生能量的损耗。尤其在该现有真空引入装置上，为确保环境的真空，必须强化该传动轴密封件5的密合性，例如增加O型环的尺寸或更多的磁性流体，更使摩擦力大幅度增加。

因此，目前相关的真空引入技术，所使用的结构基本上皆为大动力引入，无法达成以小动力完成真空机械动力引入的功能，影响制造真空设备时程以及增加生产成本。

发明内容

本发明目的之一在于提供一种高灵敏真空动力引入装置，其通过外轴的设置，减少传动轴与壳体之间摩擦力，以达成用小动力即可完成真空机械动力引入的功能。

本发明目的之二在于提供一种高灵敏真空动力引入装置，其减少动力传输时的损耗，且结构简单，大幅降低生产成本。

本发明目的之三在于提供一种高灵敏真空动力引入装置，通过该结构，可缩短制造真空设备时程，提高真空设备的自制率。

本发明技术方案如下：

一种高灵敏真空动力引入装置，包括有一壳体，在该壳体内设置有外轴，该外轴可相对该壳体进行旋转，另在该外轴内设置有传动轴，该传动轴可相对于外轴进行旋转，用来传输动力。所述壳体与外轴之间设置有外轴密封件，用于分隔动力引入方向的高压侧及动力输出方向的低压侧（用于维持所述壳体与外轴之间的真空度）；所述外轴与传动轴之间则设置有传动轴密封件，用于分隔动力引入方向的高压侧及动力输出方向的低压侧（用于维持所述外轴与传动轴之间的真空度）。

所述外轴密封件和传动轴密封件为O型环或磁性流体。

所述外轴密封件在所述壳体与外轴之间设置1个以上；所述传动轴密封件在所述外轴与传动轴之间设置1个以上。

所述壳体与外轴之间优选为设置2个外轴密封件，其分别邻近于一高压侧及一低压侧。

所述壳体与外轴之间优选为设置2个传动轴密封件，其分别邻近于一高压侧及一低压侧。

通过上述设置，该传动轴可在真空环境下，减少构件之间的摩擦力，达到以小动力即可完成真空机械动力引入之目的。

包含有上述真空动力引入装置的真空制程设备，该设备包括：

一真空腔体，该腔体包括一开口；以及一真空动力引入装置，该真空动力引入装置紧密地设置于所述开口，且壳体固定于真空腔体上。

所述真空制程设备可以为一真空镀膜设备。

本发明有益效果为：

本发明通过在传统的壳体与传动轴之间增设有外轴，增设外轴可大幅降低机构之间的摩擦力，使该传动轴可快速准确反应出微小动力而产生输出，相较传统机构的大动力输入，本发明可降低成本、减少工作时间，提高真空设备制作的效率。

附图说明

图1为本发明的立体剖面图；

图2为本发明的平面剖面图；

图3为本发明的工作原理与现有技术比较图；其中：①为现有真空动力引入装置的旋转动力结构；②为本发明真空动力引入装置的旋转动力结构；③为由现有真空动力引入装置旋转动力结构转换的等效的线性机构；④为由本发明真空动力引入装置旋转动力结构转换的等效的线性机构；

图4为本发明应用在真空制程设备上的实施例图；

图5为现有装置的平面剖面图。

其中：1-壳体；2-外轴；3-传动轴；4-外轴密封件；5-传动轴密封件；6-真空镀膜设备；61-真空腔体；62-开口；63-加工装置；71-高压侧；72-低压侧；8-动力源。

具体实施方式