[发明专利]硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备

权利要求书

1.一种硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，包括：

将炉管（10）中的硼尾气排入尾气管（20）；

向所述尾气管（20）中通入携水气体，使得所述尾气管（20）中的所述硼尾气溶解于所述携水气体中并与所述携水气体一起排出所述尾气管（20）。

2.根据权利要求1所述的硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，将所述炉管（10）中的硼尾气排入尾气管（20）之前，还包括预处理步骤，该预处理步骤包括：

对所述炉管（10）进行净化处理；

对所述炉管（10）进行升温处理。

3.根据权利要求1所述的硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，向所述尾气管（20）中通入所述携水气体的步骤包括：

向密闭水槽（60）中通入气体，得到所述携水气体；

在所述密闭水槽（60）和所述尾气管（20）之间连接进气管（40），使得所述携水气体进入所述尾气管（20）。

4.根据权利要求1所述的硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，所述携水气体为携水惰性气体。

5.根据权利要求4所述的硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，所述携水惰性气体为携水氮气。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，还包括后处理步骤，所述后处理步骤包括：

继续向所述尾气管（20）通入所述携水气体；

待所述硼尾气全部处理完毕之后，停止向所述尾气管（20）通入所述携水气体，再对所述炉管（10）进行降温处理。

7.根据权利要求6所述的硼扩散炉管尾气处理方法，其特征在于，在所述后处理步骤后还包括对所述硼扩散炉管尾气处理方法用到的设备进行净化处理。

8.一种硼扩散炉管尾气处理设备，包括炉管（10）、残液罐（30）以及设置在所述炉管（10）和所述残液罐（30）之间的尾气管（20），其特征在于，还包括进气管（40），所述进气管（40）的第一端设置在所述尾气管（20）上并与所述尾气管（20）相通，所述进气管（40）的第二端用于连接携水气体供应装置。

9.根据权利要求8所述的硼扩散炉管尾气处理设备，其特征在于，所述携水气体供应装置包括密闭水槽（60），所述进气管（40）的第二端设置在所述密闭水槽（60）中，并位于所述密闭水槽（60）的液面以上。

10.根据权利要求9所述的硼扩散炉管尾气处理设备，其特征在于，所述携水气体供应装置还包括伸入所述密闭水槽（60）的液面下的气体入口管（50），所述气体入口管（50）连接至气体气源。

11.根据权利要求10所述的硼扩散炉管尾气处理设备，其特征在于，所述气体气源供应的气体为惰性气体。