[发明专利]超高分辨率光栅尺有效
| 申请号： | 201310122926.3 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103234456A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 魏泽鼎;石建玲;张弛 | 申请（专利权）人： | 河北科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李羡民;高锡明 |
| 地址： | 050018 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超高 分辨率 光栅尺 | ||
【权利要求书】：
1.一种超高分辨率光栅尺，其特征是，它包括平面光源（4）以及垂直于平面光源（4）的照射方向并沿平面光源（4）的照射方向依次排列且彼此平行的定光栅（1）、动光栅（2）和线阵CCD传感器（3），所述线阵CCD传感器（3）与动光栅（2）并排固定在一起，所述线阵CCD传感器的感光单元的长度与动光栅（2）的长度相对应；在定光栅的栅格数为N-1的长度上动光栅的栅格数恰好是N个栅格，即动光栅的栅距等于定光栅的栅距* [(n-1）/ n],其中n是在动光栅长度内所能刻画出的光栅数。
2.根据权利要求1所述的超高分辨率光栅尺，其特征是，所述线阵CCD传感器（3）的感光区域长度大于或等于动光栅的（2）长度。
3.根据权利要求1或2所述的超高分辨率光栅尺，其特征是，所述线阵CCD传感器（3）的感光单元距离等于动光栅（2）的栅距。
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