[发明专利]微机械残余应力的测试结构及其测试方法有效
| 申请号： | 201310124315.2 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103196592A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;杨刚 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 残余 应力 测试 结构 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
1.微机械残余应力的测试结构，其特征在于：包括四组结构尺寸参数完全相同的微机械梁测试结构；所述微机械梁测试结构包括一个指针梁和两个结构尺寸参数完全相同的测试梁，所述两个测试梁位置平行且与指针梁相互垂直，所述指针梁和测试梁之间的交点记为旋转点；所述四组微机械梁测试结构的所有指针梁和测试梁均位于同一竖直平面内；记四组微机械梁测试结构的指针梁分别记为1号指针梁、2号指针梁、3号指针梁和4号指针梁；所述1号指针梁、2号指针梁、3号指针梁和4号指针梁位于同一竖直平面内，且在残余应力释放前，1号指针梁和3号指针梁位于同一竖直线上，2号指针梁和4号指针梁位于同一水平线上。
2.根据权利要求1所述的微机械残余应力的测试结构的测试方法，其特征在于：在残余应力释放后，对1号指针梁和2号指针梁之间的夹角α进行测量，对3号指针梁和4号指针梁之间的夹角β进行测量，通过下式计算有效残余应力σ：
其中，Ee表示杨氏模量，Lt表示测试梁的长度，D表示同一指针梁上的两个旋转点之间的距离，Lr表示指针梁的长度，ν表示泊松比，Wr表示测试梁的宽度，R表示某一指针梁顶端到与其垂直的指针梁中心线的距离。
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