[发明专利]一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜

权利要求书

1.一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜，其特征在于：包括显微物镜[11]、第一套筒组件[1]和第二套筒组件[5]，第一套筒组件[1]一端通过螺纹固定在显微物镜[11]上，另一端与第二套筒组件[5]连接，通过止螺[9]固定第二套筒组件[5] ，第一套筒组件[1]与第二套筒组件[5]连接面带有螺纹，第一套筒组件[1]包括第一套筒[4]、第一压圈[3]、参考镜[4]，第一套筒[2]通过螺纹固定在显微物镜[11]上，另一端带有三阶台阶，靠近显微物镜[11]镜头的台阶半径最小，为第一台阶，其后分别为第二台阶和第三台阶，第一压圈[3]通过螺纹将参考镜[4]固定在第一套筒[2]的第一台阶下表面，第二套筒组件[5]包括第二套筒[6]、第二压圈[7]、分光镜[8]，第二套筒[6]底部带有两阶台阶，靠近待测件[10]的台阶半径最小，为第四台阶，其后为第五台阶，第二压圈[7]通过螺纹将分光镜[8]固定在第二套筒[6]的第四台阶上表面。

2.根据权利要求1所述的通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜，其特征在于：第一套筒[2]中的第一台阶上表面到显微物镜[11]镜头前端的垂直距离d₀不大于1mm，显微物镜[11]孔径角为θ，工作距为d，第一台阶的半径r₁需满足r₁>(d-d₀)?tanθ/2，第一台阶宽度c₁不大于1mm，第一台阶厚度d₁不大于1mm，参考镜[4]的半径r₂需满足r₁<r₂≤r₁+c₁，参考镜[4]的厚度h₃要求大于第二台阶厚度d₂且不大于2mm，第一压圈[3]的垂直厚度h₁不大于3mm，第三台阶的厚度d₃≥h₁+ h₃-d₂，内圈半径r₃需满足公式r₃>(d-d₀-d₁-h₃)?tanθ/2，第三台阶到第一套筒[2]底部的距离d₇> d₆，且需满足d₀+ d₁+ d₂+d₃+ d₇< d，所有孔径的设计需保证正常使用时元件不会影响光线传播。