[发明专利]点衍射干涉波像差测量仪及检测方法

权利要求书

1.一种点衍射干涉波像差测量仪，其特征在于该测量仪的构成包括：光源（1）、分光器（2）、第一光强与偏振态调节器（3）、相移器（4）、第二光强与偏振态调节器（5）、理想波前发生单元（6）、物方精密调节台（7）、被测光学系统（8）、像方波前检测单元（9）、像方精密调节台（10）和数据处理单元（11），所述的像方波前检测单元（9）由像方掩模（901）、光电传感器（902）、支架（903）构成，像方掩模（901）包括透光窗口（901b）和滤波圆孔（901a），所述的光电传感器（902）包括一个二维探测器（902b），上述各元部件的位置关系如下：

在所述的光源（1）输出光的前进方向是所述的分光器（2），该分光器（2）将入射光分为两路：一路为光程可调光路（2A），另一路为光程固定光路（2B）；在光程可调光路（2A）上依次是第一光强与偏振态调节器（3）和相移器（4），经该光程可调光路的入射光输入所述的理想波前发生单元（6）的第一输入端（6A）；所述的光程固定光路（2B）上放置第二光强与偏振态调节器（5），经该光程固定光路（2B）的入射光输入所述的理想波前发生单元（6）的第二输入端（6B）；该理想波前发生单元（6）的第一输出端（6C）和第二输出端（6D）位于所述的被测光学系统（8）的物面；该理想波前发生单元（6）由物方精密调节台（7）支撑并精密定位；所述的像方波前检测单元（9）位于被测光学系统（8）的像方，像方波前检测单元（9）的像方掩模（901）位于被测光学系统（8）的像面，光电传感器（902）的二维探测器（902b）位于沿光前进方向像方掩模（901）之后；像方波前检测单元（9）由所述的像方精密调节台（10）支撑并精密定位；像方波前检测单元（9）的输出信号输入所述的数据处理单元（11）。

2.根据权利要求1所述的点衍射干涉波像差测量仪，其特征在于所述的光源是激光器、发光二极管、超辐射发光二极管或单色仪，所述的光源是光纤输出的光源，或是自由空间准直输出的光源。

3.根据权利要求1所述的点衍射干涉波像差测量仪，其特征在于所述的分光器是光纤耦合器、分光棱镜、或一面镀有分光膜的玻璃平板。

4.根据权利要求1所述的点衍射干涉波像差测量仪，其特征在于所述的第一光强与偏振态调节器和第二光强与偏振态调节器是由可调衰减器和偏振控制器组成，或由一个可旋转的检偏器构成；所述的第一光强与偏振态调节器和第二光强与偏振态调节器的结构相同或不同。

5.根据权利要求1所述的点衍射干涉波像差测量仪，其特征在于所述的相移器是改变光路光程的器件：包括缠绕在柱状压电陶瓷上的单模光纤环，通过改变柱状压电陶瓷的驱动电压，拉伸单模光纤，改变光程；分束棱镜、反射镜和压电陶瓷组成的可变光延迟线；或通过压电陶瓷带动反射镜或棱镜运动改变光程。