[发明专利]具有补偿由线性转换器的标尺的热膨胀所引起的测量误差的系统的测量机

权利要求书

1.一种测量机(1)，该测量机包括在平行于轴(Y)的方向上运动的至少一个构件(5)和用于检测所述运动构件(5)沿所述轴(Y)的位置的线性转换器，所述转换器包括平行于所述轴(Y)延伸的标尺(14)和由所述运动构件(5)承载并与所述标尺(14)协作的第一读取头(15)，所述测量机的特征在于，所述测量机包括用于补偿由所述标尺(14)的热膨胀所引起的测量误差的系统，所述系统包括由所述运动构件(5)承载的附加传感器(20；24；30)，以及与所述第一读取头(15)和用于检测与所述标尺(14)的热膨胀状态相关的数据的所述附加传感器(20；24；30)相协作的处理工具。

2.根据权利要求1所述的测量机，其特征在于，所述附加传感器由与所述标尺(14)相协作的第二读取头(20)构成。

3.根据权利要求2所述的测量机，其特征在于，所述第一读取头(15)和所述第二读取头(20)沿着所述轴(Y)以距离(D)相互间隔开，所述距离(D)不随温度变化或以已知的方式随温度变化。

4.根据权利要求2所述的测量机，其特征在于，所述第一读取头(15)和第二读取头(20)相对于设在所述标尺(14)上的共同的参考标记(18)而被重置。

5.根据权利要求1所述的测量机，其特征在于，所述附加传感器由距离传感器(24)构成，该距离传感器被配置为用于测量距相对于所述标尺(14)的固定点(26)固定的固定参考点(25)的距离。

6.根据权利要求1所述的测量机，其特征在于，所述附加传感器由检测器(30)构成，该检测器(30)被配置为用于检测所述标尺(14)上的参考标记(18)，所述处理工具(19)被配置为用于在所述检测器(30)检测所述参考标记(18)时记录所述第一读取头(15)的读数。

7.一种用于校正测量机中由线性转换器的标尺(14)的热膨胀所引起的测量误差的方法，所述测量机包括在平行于所述标尺(14)的方向上运动的至少一个构件(5)，以及由所述运动构件(5)承载并与所述标尺(14)相协作的第一读取头(15)，所述方法的特征在于，该方法使用由所述运动构件(5)承载的附加传感器(20；24；30)，以及与所述第一读取头(15)和用于检测与所述标尺(14)的热膨胀状态相关的数据的所述附加传感器(20；24；30)相协作的处理工具(19)。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述附加传感器由第二读取头(20)构成，所述第二读取头与所述标尺(14)相协作并且设置在距所述第一读取头(15)为距离(D)的位置处，该距离不随温度变化或以已知的方式随温度变化，所述方法包含以下步骤：

-将所述运动构件(5)设置在第一重置位置，此时所述第一读取头(15)位于所述标尺(14)的参考标记(18)处；

-将所述运动构件(5)设置在第二重置位置，此时所述第二读取头(20)位于所述标尺(14)的同一参考标记(18)处；

-将所述运动构件(5)设置在第三位置；

-基于在所述第三位置中所述第一读取头(15)和所述第二读取头(20)的读数(L1，L2)，计算所述第一读取头(15)和所述第二读取头(20)之间的距离；

-通过对基于在所述第三位置中所述第一读取头(15)和所述第二读取头(20)的读数(L1，L2)计算出的所述距离，与已知的所述距离(D)或作为温度的函数计算出的所述距离(D)的值进行比较，计算出至少一个校正值(SF)；并且

-借助于所述校正值(SF)，对由所述测量机(1)检测到的测量数据进行校正。