[发明专利]具有透明粘结结构的光电元件及其制造方法有效
申请号: | 201310128550.7 | 申请日: | 2009-04-28 |
公开(公告)号: | CN103258931A | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 姚久琳;苏英阳;杨雅兰 | 申请(专利权)人: | 晶元光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 透明 粘结 结构 光电 元件 及其 制造 方法 | ||
1.一种具有透明粘结结构的光电元件,包含:
支持基板;
第二透明粘结层,位于该支持基板之上;以及
半导体叠层,位于该第二透明粘结层之上,至少包含有源层;
其中该第二透明粘结层与该支持基板相邻接的表面及该支持基板与该第二透明粘结层相邻接的表面中至少其一含有氢氧键或氢键,
其中该第二透明粘结层与该支持基板相邻接的表面及该支持基板与该第二透明粘结层相邻接的表面中至少其一的粗糙度小于2纳米。
2.如权利要求1所述的具有透明粘结结构的光电元件,其中该支持基板还包含:
第一透明粘结层,与该第二透明粘结层相邻接,
其中该支持基板与该第二透明粘结层相邻接的表面为该第一透明粘结层的表面。
3.如权利要求2所述的具有透明粘结结构的光电元件,还包含具有氧元素的中介层,位于该第一透明粘结层与该第二透明粘结层相邻接的表面之间。
4.如权利要求1所述的具有透明粘结结构的光电元件,其中该半导体叠层还包含:
第二半导体层,位于该第二透明粘结层与该有源层之间;
第一半导体层,位于该有源层之上;以及
窗户层,位于该第二透明粘结层与该第二半导体层之间或位于该第一半导体层之上。
5.如权利要求4所述的具有透明粘结结构的光电元件,还包含导电部,位于该窗户层与该第二透明粘结层之间。
6.如权利要求2所述的具有透明粘结结构的光电元件,其中该第一透明粘结层或该第二透明粘结层包含多个气室。
7.如权利要求2所述的具有透明粘结结构的光电元件,其中该第一透明粘结层或该第二透明粘结层包含多个从属层。
8.如权利要求1所述的具有透明粘结结构的光电元件,还包含电极,位于该第一半导体叠层之上。
9.如权利要求1所述的具有透明粘结结构的光电元件,还包含具有氧元素的中介层,位于该支持基板与该第二透明粘结层相邻接的表面之间。
10.如权利要求1所述的具有透明粘结结构的光电元件,其中该半导体叠层包含粗糙表面。
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