[发明专利]一种金丝互连结构的建模和参数提取方法

权利要求书

1.一种金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：包括金丝模型、微带线缺口电路模型、两个短传输线模型，所述金丝模型上设置有金丝键合点，所述微带线缺口电路模型上设置有微带线缺口，所述短传输线模型作为金丝键合点和微带线缺口之间的传输线；所述两个短传输线模型分别记为左短传输线模型和右短传输线模型，左短传输线模型、微带线缺口电路模型和右短传输线模型顺序串联后，与金丝模型并联连接；所述短传输线模型的参数为金丝键合点到微带线缺口的距离c的函数。

2.根据权利要求1所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述金丝模型中金丝的数量为单根、两根或三根以上，所述金丝的等效电路为相串联的电阻R和电感L结构；若金丝模型中包括两根或三根以上金丝，则所有金丝并联且每任意两根金丝之间存在互感M。

3.根据权利要求2所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述电阻R和电感L根据金丝的阻抗和自感的物理性质提取参数。

4.根据权利要求2所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述互感M根据互感的物理性质提取参数。

5.根据权利要求1所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述微带线缺口电路模型的等效电路包括电容C₀、电容C₁和电容C₂，所述电容C₁和电容C₂相并联、一端分别接在电容C₀的两侧、另一端接公共基线，所述电容C₀的两端分别连接两个短传输线模型。

6.根据权利要求5所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述电容C₀、电容C₁和电容C₂根据奇偶模分析法提取参数。

7.根据权利要求1所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述短传输线模型的等效电路包括电感L_c、电容C₃和电容C₄，所述电容C₃和电容C₄相联、一端分别接在电感L_c的两侧、另一端接公共基线，所述电感L_c的两端分别连接金丝模型和微带线缺口电路模型。

8.根据权利要求7所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述电感L_c、电容C₃和电容C₄根据均匀传输线理论提取参数。

9.根据权利要求1所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述短传输线模型的等效电路包括电感L_c1、电感L_c2和电容C₅，所述电感L_c1和电感L_c2的一端串联相接，电感L_c1和电感L_c2的另一端分别连接金丝模型和微带线缺口电路模型，所述电容C₅一端接在电感L_c1和电感L_c2之间、另一端接公共基线。

10.根据权利要求9所述的金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：所述电感L_c1、电感L_c2和电容C₅根据均匀传输线理论提取参数。