[发明专利]选择性铁蚀刻液及蚀刻方法

权利要求书

1.一种选择性铁蚀刻液，可以选择性蚀刻铜基材表面的铁，蚀铁速率与蚀铜速率比≥200，其特征在于：所述选择性铁蚀刻液包括水溶性芳香族硝基化合物、无机酸、缓蚀剂和去离子水，所述水溶性芳香族硝基化合物的含量为4-220g/L，所述无机酸的含量为2-10mol/L，所述缓蚀剂的含量为0.1-2 g/L。

2.根据权利要求1所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述水溶性芳香族硝基化合物的含量为10-200g/L，所述无机酸的含量为2.5-7.5mol/L，所述缓蚀剂的含量为0.2-1.5 g/L。

3.根据权利要求1或2所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述水溶性芳香族的硝基化合物为苯环上带有硝基的芳香族化合物及其盐中的一种或者几种。

4.根据权利要求3所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述水溶性芳香族硝基化合物为间硝基苯磺酸钠。

5.根据权利要求1或2所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述无机酸至少为硫酸和磷酸其中之一。

6.根据权利要求1或2所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述缓蚀剂至少为六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和四乙烯五胺之一。

7.根据权利要求1所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液还包含有消泡剂，该消泡剂的含量为0.1-2 g/L。

8.根据权利要求7所述的选择性铁蚀刻液，其特征在于：所述消泡剂为OP-10、二甲基硅氧烷、正辛醇和硅氧烷二元醇中的至少一种，所述消泡剂的含量为0.5-1.5 g/L。

9.一种选择性铁蚀刻方法，其特征在于：将铁基材与蚀刻液接触进行蚀刻，控制蚀刻液的温度为15-40℃，所述蚀刻液为权利要求1-8中任一项所述的选择性铁蚀刻液。

10.根据权利要求9所述的不锈钢蚀刻方法，其特征在于：所述将铁基材与蚀刻液接触的方法为用浸渍的方法将铁基材放置在蚀刻液中或者用低压喷淋的方法将蚀刻液均匀的喷淋在铁基材的表面，其中所述低压喷淋的压力为0.05-0.15Mpa。