[发明专利]固体激光回馈干涉仪

权利要求书

1.一种固体激光回馈干涉仪，包括：

微片激光器，用于发出激光；

第一分光镜，设置在所述激光的出射光路上，并将激光分成两路，一路为透射光，一路为反射光；

第一移频器和第二移频器，所述第一移频器、第二移频器依次设置在所述透射光的光路上，所述透射光经过所述第一移频器、第二移频器后，部分的所述透射光经过两次衍射，部分的所述透射光未经过衍射，所述经过两次衍射的透射光作为测量光，所述未经过衍射的透射光作为参考光；

汇聚透镜，该汇聚透镜设置在所述第二移频器之后，用于汇聚所述测量光以及参考光，该汇聚透镜将所述测量光汇聚到一待测目标上，所述测量光经该待测目标反射，沿该测量光的原光路返回到所述微片激光器中作为测量回馈光；

光电探测器，设置在所述反射光的光路上；

电信号处理系统，与所述光电探测器电连接；以及

数据采集处理系统，与所述电信号处理系统电连接；

其特征在于，进一步包括共路器，设置在所述汇聚透镜之后，该共路器包括一反射镜以及一共路单元，所述反射镜将所述参考光沿平行于所述测量光的方向入射到所述共路单元中，所述共路单元用于将入射的所述参考光沿平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器中作为参考回馈光，该电信号处理系统分别输出所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量，该数据采集处理系统根据所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量计算所述待测目标的位移信息。

2.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路单元能够随所述待测目标位置的改变而改变。

3.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路单元包括一反射棱镜，猫眼逆反镜以及一通光孔，入射的所述参考光通过该反射棱镜反射进入所述猫眼逆反镜，然后通过从所述猫眼逆反镜出射的光再次经所述反射棱镜反射后以平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器。

4.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路单元为一角锥棱镜。

5.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一可见光发生器用于发出可见光，所述第一分光镜具有一反射光路，所述可见光发生器设置在所述第一分光镜的反射光路上，所述第一分光镜表面具有镀膜，该镀膜用于全反射所述可见光并且透射所述微片激光器发出的激光，所述可见光通过所述第一分光镜反射后进入该固体激光回馈干涉仪的光路中来指示所述测量光。

6.如权利要求5所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述镀膜为双色膜，该双色膜对红外光部分透射部分反射，对可见光全反射。

7.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一可见光目标指示器设置在所述透射光的光路上来指示所述测量光，该可见光目标指示器包括一可见光发生器，以及一第二分光镜，所述可见光发生器用于发出可见光，所述第二分光镜表面设置一镀膜，该镀膜全反射所述可见光且透射所述微片激光器发出的激光，所述第二分光镜具有一反射光路，所述可见光发生器设置在所述第二分光镜的反射光路上，所述可见光经该第二分光镜全反射进入所述固体激光回馈干涉仪的光路中来指示所述测量光。

8.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一准直扩束装置，该准直扩束装置设置在所述汇聚透镜与所述共路器之间。

9.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，所述共路器进一步包括一四分之一波片，该四分之一波片设置在所述反射镜与所述共路单元之间，该四分之一波片与经所述反射镜以沿平行于所述测量光的方向反射后的所述参考光共轴设置，所述共路单元包括一偏振分光棱镜以及一猫眼逆反镜，通过所述四分之一波片的所述参考光通过该偏振分光棱镜反射进入所述猫眼逆反镜，然后通过从所述猫眼逆反镜出射的光再次经所述偏振分光棱镜反射后以平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器，通过所述汇聚透镜的测量光以不变的光路通过该偏振分光棱镜到达所述待测目标。

10.如权利要求1所述的固体激光回馈干涉仪，其特征在于，进一步包括一空气折射率补偿系统，该空气折射率补偿系统检测周围空气环境信息并反馈到所述数据采集处理系统中进行空气折射率补偿。